[發明專利]一種提高微細流道加工質量的系統和方法

有效

• 申請號: 201210003473.8
• 申請日: 2012-01-06
• 公開（公告）號: CN102554589A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 劉剛;趙鴻;唐曉軍;王超;徐鎏婧;劉磊;劉洋;梁興波;陳三斌
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十一研究所
• 主分類號: B23P17/00
• 分類號: B23P17/00;B23Q17/00;B23Q15/00
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 梁軍

1.一種提高微細流道加工質量的系統，其特征在于，包括：微細流道加工裝置、待加工工件、至少一面由所述待加工工件組成的檢測腔體、與所述檢測腔體密封連接的恒壓流體產生裝置、以及加工微細流道時固定所述待加工工件的夾具；

所述微細流道加工裝置，用于在所述待加工工件上，從所述檢測腔體外側向檢測腔體內側加工微細流道；

所述恒壓流體產生裝置，用于在加工微細流道過程中，向所述檢測腔體內充滿恒定壓力的流體；其中，腔內流體恒定壓力高于加工側所屬環境的壓力。

2.如權利要求1所述的提高微細流道加工質量的系統，其特征在于，所述系統還包括：流量監測裝置和加工控制裝置；

所述流量監測裝置，布置在所述恒壓流體產生裝置與檢測腔體間的流體連接通道上，用于在加工得到微細流道時，實時檢測所述微細流道外溢流體的瞬時流量；

所述控制裝置，用于判斷所述流量監測裝置監測的流量值是否達到設定的標準值，若是，則向所述微細流道加工裝置發送繼續加工當前微細流道的命令指示；否則，向所述微細流道加工裝置發送加工下一微細流道的命令指示。

3.如權利要求1或2所述的提高微細流道加工質量的系統，其特征在于，所述恒壓流體產生裝置具體包括：

壓力流體產生源，用于產生壓力流體；

壓力調節和穩定裝置，用于控制產生的所述壓力流體以恒定的壓力輸出至所述檢測腔體內。

4.如權利要求1或2所述的提高微細流道加工質量的系統，其特征在于，

當所述待加工工件為腔體結構時，所述檢測腔體為所述待加工工件的內部腔體；當所述待加工工件為非腔體結構時，所述檢測腔體為所述待加工工件與定制的殼體密封組合后得到的腔體。

5.如權利要求1或2所述的提高微細流道加工質量的系統，其特征在于，所述流體為液體或者氣體；所述微細流道的加工方式包括機械加工、電學加工、化學加工或者激光束加工。

6.如權利要求5所述的提高微細流道加工質量的系統，其特征在于，當所述流體為液體時，所述液體包括冷卻劑和/或潤滑劑；當所述流體為氣體時，所述氣體包括干燥壓縮空氣。

7.一種如權利要求1所述系統提高微細流道加工質量的方法，其特征在于，包括：

步驟1，將待加工工件固定在夾具上；

步驟2，利用恒壓流體產生裝置向至少一面由所述待加工工件組成的檢測腔體內充滿恒定壓力的流體；

步驟3，利用微細流道加工裝置在所述待加工工件上，從所述檢測腔體外側向檢測腔體內側加工微細流道；

步驟4，當加工得到微細流道時，利用所述檢測腔體內外存在壓力差，通過流體將所述微細流道內加工產生的殘渣帶出。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述步驟4后還包括：

步驟5，利用布置在所述恒壓流體產生裝置與檢測腔體間流體連接通道上的流量監測裝置實時檢測所述微細流道外溢流體的瞬時流量；

步驟6，利用控制裝置判斷流量監測裝置監測到的流量值是否達到設定的標準值，若是，則向所述微細流道加工裝置發送繼續加工當前微細流道的命令指示；否則，向所述微細流道加工裝置發送加工下一微細流道的命令指示。

9.如權利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述方法中：

當所述待加工工件為腔體結構時，所述檢測腔體為所述待加工工件的內部腔體；當所述待加工工件為非腔體結構時，所述檢測腔體為所述待加工工件與定制的殼體密封組合后得到的腔體。

10.如權利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述方法中：

所述流體為液體或者氣體，所述液體包括冷卻劑和/或潤滑劑；所述氣體包括干燥壓縮空氣；

所述微細流道的加工方式包括機械加工、電學加工、化學加工和激光束加工。