[發(fā)明專利]無鉻光刻板

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210003155.1
• 申請(qǐng)日: 2012-01-07
• 公開（公告）號(hào): CN102436135A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏臻
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 聚燦光電科技(蘇州)有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/60
• 分類號(hào): G03F1/60
• 代理公司: 蘇州廣正知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32234
• 代理人: 張利強(qiáng)

1.一種無鉻光刻板，它包括石英基板，其特征在于：所述的石英基板的上表面的預(yù)定位置制作有光刻圖形，所述的光刻圖形的頂部覆蓋有粗化散射表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無鉻光刻板，其特征在于：所述的石英基板的下表面的對(duì)應(yīng)位置制作有相同的光刻圖形，所述的光刻圖形的頂部覆蓋有粗化散射表面，其中，位于所述的石英基板的上表面與下表面的光刻圖形的垂直投影相互重合。