[發(fā)明專利]具有低成本封裝的壓力傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210002830.9
• 申請(qǐng)日: 2012-01-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102589791A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: R.瓦德;I.本特利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 霍尼韋爾國(guó)際公司
• 主分類號(hào): G01L9/06
• 分類號(hào): G01L9/06
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔣駿;盧江

1.?一種壓力傳感器組件（10,110），包括：

壓力端口外殼（20，120），包括感測(cè)側(cè)（24,124）和安裝側(cè)（22,122），其中所述感測(cè)側(cè)（24,124）包括穿過(guò)所述外殼（20,120）的所述感測(cè)側(cè)（24,124）延伸的壓力端口（26,126）；

所述壓力端口外殼（20,120）進(jìn)一步包括壓力感測(cè)管芯空腔（34,134）；

壓力感測(cè)管芯（12,112），具有第一側(cè)（16,116）和相對(duì)的第二側(cè)（14,114），所述壓力感測(cè)管芯（12,112）位于所述壓力感測(cè)管芯空腔（34,134）中并且其的所述第一側(cè)（16,116）固定到所述壓力端口外殼（20,120）的所述感測(cè)側(cè)（24,124），所述壓力感測(cè)管芯（12,112）具有暴露給所述壓力端口（26,126）的壓力感測(cè)隔膜（18,118）；以及

所述壓力感測(cè)管芯（12,112）的所述第二側(cè)（14,114）背對(duì)所述壓力端口外殼（20,120）的所述感測(cè)側(cè)（24,124）并朝向所述安裝側(cè)（22,122），并且所述壓力傳感器管芯（12,112）的兩個(gè)或更多電焊盤（130）可從所述外殼（20,120）的外側(cè)接入，使得所述兩個(gè)或更多電焊盤（30，130）能電學(xué)地和物理地連接到另一個(gè)基板上的兩個(gè)或更多對(duì)應(yīng)的焊盤。

2.?權(quán)利要求1的所述壓力傳感器組件（10,110），進(jìn)一步包括在所述壓力傳感器管芯（12,112）的所述第一側(cè)（16,116）和所述外殼（120）之間的密封（32,132），其中所述密封（32,132）被配置為將所述壓力傳感器管芯（12,112）的壓力感測(cè)隔膜（18,118）暴露給由所述外殼（120）的所述感測(cè)側(cè)（24,124）限定的所述壓力端口（26,126）。

3.?權(quán)利要求1的所述傳感器組件（10,110），其中所述壓力感測(cè)管芯（12,112）通過(guò)粘合劑（32，132）固定到所述外殼（20,120）。

4.?權(quán)利要求3的所述傳感器組件（10,110），其中所述粘合劑（32，132）為應(yīng)力隔離粘合劑。

5.?權(quán)利要求4的所述傳感器組件（10,110），其中所述粘合劑（32，132）為室溫硫化（RTV）硅橡膠粘合劑。

6.?權(quán)利要求1的所述傳感器組件（10,110），其中所述壓力端口（26,126）是從接近所述壓力感測(cè)管芯（12,112）的所述第一側(cè)（16,116）延伸并遠(yuǎn)離所述壓力感測(cè)管芯（112）的延長(zhǎng)壓力端口（26,126）。

7.?權(quán)利要求6的所述傳感器組件（10,110），其中至少一部分所述延長(zhǎng)壓力端口（26,126）的形狀為管狀。

8.?權(quán)利要求1的所述傳感器組件（10,110），其中所述外殼（20,120）的所述安裝側(cè)（22,122）打開(kāi)以允許所述壓力感測(cè)管芯（12,112）被插入并固定到所述外殼（20,120）的內(nèi)表面。

9.?權(quán)利要求8的所述傳感器組件（10,110），其中所述壓力感測(cè)管芯（12,112）被固定到所述外殼（20,120）的所述感測(cè)側(cè)的內(nèi)表面。

10.?權(quán)利要求8的所述傳感器組件（10,110），其中：

所述外殼（20,120）包括從所述外殼（20,120）的所述感測(cè)側(cè)延伸到所述安裝側(cè)的側(cè)壁（128）。