[發明專利]側翻式機械手

無效

• 申請號: 201210002320.1
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN103192375A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 徐方;曲道奎;李學威;周道;溫燕修;何書龍;鄭鋆;王魯非
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B25J9/08
• 分類號: B25J9/08
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種側翻式機械手，包括有殼體、電機、旋轉軸及用以抓取晶圓片的手指，其特征在于：所述手指直接固定在旋轉軸上，所述電機固定在所述殼體內并具有轉動軸，所述旋轉軸安裝在殼體的一端且與所述轉動軸固定一起，所述

電機在驅使轉動軸轉動時能夠帶動旋轉軸轉動。

2.如權利要求1所述的側翻式機械手，其特征在于：所述旋轉軸與轉動軸是通過鍵固定一起。

3.如權利要求1所述的側翻式機械手，其特征在于：所述手指與旋轉軸各開設有氣路通道，所述手指的氣路通道與所述旋轉軸的氣路通道氣路連接，且所述旋轉軸的氣路通道與一個直通相連，所述直通位于所述殼體外部，用以連接一個氣管。

4.如權利要求1所述的側翻式機械手，其特征在于：所述手指與旋轉軸各開設有氣路通道，所述手指的氣路通道與所述旋轉軸的氣路通道氣路連接，且所述旋轉軸的氣路通道通過一個彎頭與一條盤繞在所述殼體內的氣管相連，所述彎頭位于所述殼體內部。

5.如權利要求3或4所述的側翻式機械手，其特征在于：所述手指是通過所述氣路通道而使其能夠將晶圓片吸附。

6.如權利要求1所述的側翻式機械手，其特征在于：所述殼體包括有用以收容電機的本體，所述本體的前端固定有安裝板，所述旋轉軸通過滾動軸承與所述安裝板轉動固定一起。

7.如權利要求6所述的側翻式機械手，其特征在于：所述旋轉軸的后端固定有軸端壓緊環，所述軸端壓緊環位于所述殼體內并抵靠在所述滾動軸承上。

8.如權利要求7所述的側翻式機械手，其特征在于：所述殼體還包括有端蓋，所述端蓋固定在所述安裝板的前端，并套在所述旋轉軸，所述旋轉軸上套設有旋轉彈簧張力密封圈，用以密封所述安裝板與所述旋轉軸之間的間隙，所述端蓋抵靠在所述旋轉彈簧張力密封圈的前端上，用以阻旋轉彈簧張力密封圈脫離旋轉軸。

9.如權利要求8所述的側翻式機械手，其特征在于：所述旋轉彈簧張力密封圈位于所述端蓋與所述滾動軸承之間。

10.如權利要求1所述的側翻式機械手，其特征在于：所述側翻式機械手還包括底座，所述殼體固定在底座上，所述底座上設有用以調平的螺絲。