[發明專利]一種用于原子層沉積設備的氣體分配器

有效

• 申請號: 201210002317.X
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN103194737A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 張艷清;夏洋;李超波;萬軍;呂樹玲;陳波;石莎莉;李楠
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 北京市德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種用于原子層沉積設備的氣體分配器，其特征在于：所述氣體分配器設置在原子層沉積設備的反應腔室內，位于所述反應腔室內基片臺的上方；所述氣體分配器為環型或U型的氣路管道，所述氣路管道上設有一個進氣口和若干個出氣口；所述進氣口與所述反應腔室的進氣管道相連通，所述出氣口均勻分布在所述氣路管道的內外兩側，所述出氣口的出氣方向與垂直方向形成傾斜角度。

2.如權利要求1所述的用于原子層沉積設備的氣體分配器，其特征在于：所述氣路管道的橫截面為圓形或多邊形。

3.如權利要求1所述的用于原子層沉積設備的氣體分配器，其特征在于：所述出氣口包括內排出氣孔和外排出氣孔，分別均勻設置在所述氣路管道的內側和外側。

4.如權利要求3所述的用于原子層沉積設備的氣體分配器，其特征在于：所述出氣口的個數為偶數個，所述內排出氣孔和外排出氣孔交錯排列。

5.如權利要求1所述的用于原子層沉積設備的氣體分配器，其特征在于：所述出氣口的孔徑為1mm-1.5mm。

6.如權利要求1所述的用于原子層沉積設備的氣體分配器，其特征在于：所述出氣口的面積總和小于所述進氣口的面積。

7.如權利要求1所述的用于原子層沉積設備的氣體分配器，其特征在于：所述出氣口的出氣方向與垂直方向呈30度角傾斜。