[發(fā)明專利]預(yù)對準裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210002083.9
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN103192327A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周道;何以剛;曲道奎;徐方;李學(xué)威;張鵬;溫燕修;管莉娜
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種預(yù)對準裝置，所述預(yù)對準裝置包括一用以夾持物體的夾持結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述夾持結(jié)構(gòu)包括夾持件及轉(zhuǎn)動件，所述夾持件及轉(zhuǎn)動件之間連接一第一驅(qū)動器，所述物體夾持在所述夾持件及轉(zhuǎn)動件之間；所述轉(zhuǎn)動件連接一第二驅(qū)動器，所述第二驅(qū)動器驅(qū)使所述轉(zhuǎn)動件繞一第一中心軸轉(zhuǎn)動，所述轉(zhuǎn)動件驅(qū)使所述物體繞一第二中心軸轉(zhuǎn)動，所述第一中心軸平行所述第二中心軸；所述第一驅(qū)動器驅(qū)使所述夾持件及轉(zhuǎn)動件沿相互靠近或遠離的方向移動，所述夾持件及所述轉(zhuǎn)動件沿相互靠近或遠離時驅(qū)使所述物體沿平行所述第二中心軸方向移動。

2.如權(quán)利要求1所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述夾持件包括一支撐臺及一滑動部，且設(shè)有一卡槽，所述滑動部自所述支撐臺延伸并連接所述卡槽。

3.如權(quán)利要求2所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述滑動部具有一錐形的外表面，且直徑自所述支撐臺到所述卡槽逐漸增大。

4.如權(quán)利要求2所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述物體在所述夾持件及轉(zhuǎn)動件沿相互靠近的方向移動的過程中，自所述支撐臺沿所述滑動部移動，并卡在所述卡槽中；所述物體在所述夾持件及轉(zhuǎn)動件沿相互遠離的方向移動的過程中，脫離所述卡槽并沿所述滑動部移動至所述支撐臺。

5.如權(quán)利要求2所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述夾持件及轉(zhuǎn)動件之間留有供一機械手伸入的空隙。

6.如權(quán)利要求2所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述卡槽繞所述夾持件一周，且所述物體在轉(zhuǎn)動的過程中夾持在所述卡槽中。

7.如權(quán)利要求1所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動件的轉(zhuǎn)動方向與所述物體的轉(zhuǎn)動方向相反。

8.如權(quán)利要求1所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述第一中心軸及所述第二中心軸垂直所述支撐臺。

9.如權(quán)利要求1所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動件及夾持件對稱分布在所述物體的兩側(cè)。

10.如權(quán)利要求1所述的預(yù)對準裝置，其特征在于：所述物體為晶圓，且設(shè)有缺口；所述預(yù)對準裝置還包括一傳感器，所述傳感器裝設(shè)在所述物體下方，所述傳感器能夠在所述物體轉(zhuǎn)動的過程中識別出所述缺口的位置。