[發明專利]機械手末端執行器有效

申請號：	201210002054.2	申請日：	2012-01-05
公開（公告）號：	CN103192401A	公開（公告）日：	2013-07-10
發明（設計）人：	管莉娜;曲道奎;徐方;李學威;王金濤;溫燕修;周道;邊弘曄	申請（專利權）人：	沈陽新松機器人自動化股份有限公司
主分類號：	B25J15/00	分類號：	B25J15/00
代理公司：	沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002	代理人：	許宗富
地址：	110168 遼***	國省代碼：	遼寧;21
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摘要：
搜索關鍵詞：	機械手末端執行
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及一種機械手，特別是涉及一種機械手末端執行器。

背景技術

現有的機械手末端執行器主要是托盤式的和卡爪式。托盤式依靠單向的接觸單元和第三側的單向接觸單元托著晶圓，并且需要使用傳感器來確定晶圓的圓心是否對準，其缺點是：使用傳感器成本提高、使用傳感器占用空間、安裝過程復雜、定位時間長、當有意外碰撞時晶圓有可能會飛出來損壞；若不使用傳感器，僅依靠接單向的觸單元和第三側的單向接觸單元托著夾緊晶圓，就無法保證晶圓定位的準確性，有發生損壞晶圓的可能性。卡爪式是通過固定的凹槽夾緊晶圓，其缺點是：凹槽是固定的，需要通過傳感器確定晶圓圓心是否對準，占用空間，安裝復雜，定位時間長；若將末端執行期翻轉180°，晶圓定位可能不準，損壞晶圓，影響到作業的進度及成本的控制。

發明內容

鑒于以上內容，有必要提供一種自動調節定位的機械手末端執行器。

一種機械手末端執行器，包括有手指及固定鉗口，固定鉗口固定在手指上，所述機械手末端執行器還包括有連接塊、導向軸及隨動導輪，連接塊滑動安裝在手指上，導向軸固定在連接塊上，隨動導輪轉動固定在連接塊上，手指能夠相對導向軸的軸線轉動，導向軸與連接塊能夠相對手指沿導向軸的軸線移動，隨動導輪隨連接塊一起移動，直至隨動導輪與固定鉗口夾住晶圓片，隨動導輪在夾住晶圓片的過程中能夠相對連接塊轉動以對晶圓片的位置進行調節。

在一實施方式中，所述手指能夠繞導向軸的軸線作180°的轉動。

在一實施方式中，所述隨動導輪通過一螺釘轉動固定在所述連接塊上，所述螺釘與連接塊之間設有一個軸中間環。

在一實施方式中，所述隨動導輪與所述連接塊之間設有墊圈。

在一實施方式中，所述固定鉗口開設有收容槽，所述隨動導輪開設有凹槽，所述收容槽與凹槽用以夾持晶圓片。

在一實施方式中，所述收容槽的一橫截面呈弧形，所述凹槽的一橫截面呈弧形。

在一實施方式中，所述手指開設有一個通孔，所述通孔的邊緣上設有刻度，所述連接塊安裝在所述通孔中，并能夠通過所述刻度確定其位置。

在一實施方式中，所述連接塊包括有連接一起的一個安裝部及一個滑動部，所述安裝部固定在所述導向軸上，所述滑動部安裝在所述通孔中，所述隨動導輪固定在所述滑動部上。

在一實施方式中，所述安裝部開設有安裝孔，所述導向軸通過一個螺釘穿入所述安裝孔中并鎖在導向軸上而固定在所述安裝部上。

在一實施方式中，所述固定鉗口與隨動導輪各有兩個，所述手指包括兩個指頭及一個連接兩個指頭的連接部，所述兩個固定鉗口分別位于兩個指頭的自由端，所述連接塊固定在所述連接部上，所述兩個指頭分別位于所述導向軸的軸線的兩側，所述兩個隨動導輪也分別位于所述導向軸的軸線的兩側。

與現有技術相比，在上述機械手末端執行器中，通過隨動導輪與固定鉗口可以夾住晶圓片，且通過連接塊的移動、隨動導輪的轉動可以很方便將晶圓片的自動調節定位。

附圖說明

圖1是本發明機械手末端執行器的一較佳實施方式的一立體圖。