[發明專利]介質隔離的壓力傳感器

有效

• 申請號: 201210001704.1
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN102589787A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: P.羅斯戈
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00;G01L19/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔣駿;盧江

1.?一種壓力傳感器（10），包括：

外殼（12），限定了流質通道（14），其中所述流質通道（14）具有第一端（16）和第二端（19）；

隔膜（22），具有第一側（21）和第二側（23），所述隔膜(22)的所述第一側（21）接近所述外殼（12）的所述流質通道（14）的所述第二端（19）而被安裝；

托架（26），具有第一側（32）和第二側（34），以及在所述托架（26）的所述第一側（32）和所述第二側（34）之間延伸的第一開口（28），所述托架（26）的所述第一側（32）接近所述隔膜（22）的所述第二側（34）而被安裝；

壓力感測管芯（44），接近所述托架（26）的所述第二側（34）而被安裝，所述壓力感測管芯（44）包括與所述托架（26）的所述第一開口（28）流質連通的壓力感測隔膜（46）；

傳導流質空腔（38），至少部分地由所述隔膜（22）的所述第二側（23）、所述托架（26）的所述第一側（32）和所述壓力感測管芯（44）的所述壓力感測隔膜（46）所形成；以及

壓力傳導流質（24），布置于所述傳導流質空腔（38）內。

2.?根據權利要求1所述的壓力傳感器（10），其中：

所述壓力感測管芯（44）包括前側和后側，其中所述后側包括限定了至少一部分壓力感測隔膜（46）的蝕刻的空腔，其沿所述壓力感測管芯（44）的所述前側延伸，所述壓力感測隔膜（46）包括一個或多個壓阻元件，所述壓力感測管芯（44）的所述前側包括一個或多個焊盤，以及所述壓力感測管芯（44）的后側面向所述托架（26）的所述第二側（34）。

3.?根據權利要求1?所述的壓力傳感器（10），其中：

所述托架（26）包括在所述托架（26）的所述第一側（32）和所述第二側（34）之間延伸的第二開口（30）；以及

在所述第二開口（30）中布置的密封。

4.?根據權利要求3所述的壓力傳感器（10），其中：

所述密封包括金屬球（40）。

5.?根據權利要求1所述的壓力傳感器（10），進一步包括壓力開口，由所述外殼（12）的所述流質通道（14）的所述第一端（16）所限定；以及其中：

從所述外殼（12）的所述壓力開口起、穿過通過所述外殼（12）的所述流質通道（14）并到達所述隔膜（22）的所述第一側（21）而提供要被感測的介質。

6.?根據權利要求1所述的壓力傳感器（10），其中所述隔膜（22）密封所述外殼（12）的所述流質通道（14）的所述第二端（19）。

7.?根據權利要求1所述的壓力傳感器（10），其中所述壓力傳導流質（24）為液體。

8.?根據權利要求7所述的壓力傳感器（10），其中所述壓力傳導流質（24）為油。

9.?根據權利要求1所述的壓力傳感器（10），進一步包括：

基板（42），接近所述壓力感測管芯（44）而安裝到所述托架（26）的所述第二側（34）；

其中所述基板（42）包括與所述壓力感測管芯（44）的一個或多個焊盤電通信的焊盤。

10.?根據權利要求9所述的壓力傳感器（10），進一步包括：

信號調節電路，安裝在所述基板（42）上，其中所述信號調節電路（48）被配置為接收來自壓力感測管芯（44）的信號并保持所述信號的狀態以提供保持狀態的輸出信號。