[發(fā)明專利]一種混合集成的聲表面波器件結(jié)構(gòu)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210001653.2
• 申請(qǐng)日: 2012-01-05
• 公開（公告）號(hào): CN102437832A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉衛(wèi)國(guó);劉歡;蔡長(zhǎng)龍;高愛華;程進(jìn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H03H9/145
• 分類號(hào): H03H9/145
• 代理公司: 西安新思維專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

1.一種混合集成的聲表面波器件結(jié)構(gòu)，其特征在于：是用壓電晶體作為薄壓電層（103），薄壓電層（103）的厚度為10-80?um，在壓電晶體上表面設(shè)置叉指換能器，叉指換能器簡(jiǎn)稱IDT（102）；然后在IDT（102）上設(shè)置類金剛石薄膜（101）表層，類金剛石薄膜（101）厚度為1-10um；在厚硅（105）的一個(gè)表面上設(shè)置集成電路層（104）；最后通過低溫鍵合技術(shù)將壓電晶體的下表面與厚硅（105）上表面進(jìn)行鍵合。