[發明專利]激光加工設備用工作臺裝置

有效

• 申請號: 201180074785.1
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN103930236A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 西脅靖樹
• 申請（專利權）人: 日本車輛制造株式會社
• 主分類號: B23K26/08
• 分類號: B23K26/08
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及激光加工設備用工作臺裝置，詳細而言，涉及在對金屬薄板實施微細的激光加工時使用的工作臺裝置。

背景技術

例如，在利用激光加工制造在印刷電路板上印刷膏狀釬焊料時所使用的金屬掩模時，使金屬薄板與激光加工頭相對移動，利用激光照射金屬薄板的規定位置來進行制造。用于這樣的加工的工作臺通常以利用直線引導件而能夠直線移動的狀態設置工作臺，并且使用直線伺服電機作為工作臺移動用的驅動源(例如，參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2004－112864號公報

發明內容

發明要解決的問題

作為使金屬薄板和激光加工頭相對移動的單元，有使激光加工頭固定、使保持有金屬薄板的工作臺移動的結構和使金屬薄板固定、使搭載有激光加工頭的工作臺移動的結構。對于使金屬薄板移動的結構來說，在金屬薄板的面積變大時，隨著工作臺的大型化、重量增加而容易產生振動，這成為導致出現加工誤差的原因，因此優選使激光加工頭移動的結構。但是，對于使激光加工頭移動的結構來說也存在如下問題：若金屬薄板的面積較大，則搭載激光加工頭的工作臺變長，重量也增加，因此工作臺由于自身的重量而其中央向下方撓曲。即使工作臺的撓曲很小，在進行激光加工金屬掩模這樣的超微細的加工時，哪怕是數微米程度的撓曲也會影響產品的品質。

因此，本發明的目的在于提供一種激光加工設備用工作臺裝置，其能夠消除因工作臺自身的重量而導致的工作臺中央部向下方撓曲，還能夠可靠地進行采用激光的超微細加工。

用于解決問題的方案

為了達到上述目的，本發明的激光加工設備用工作臺裝置包括工作臺和直線伺服電機，上述工作臺被設置為其兩側下部被直線引導件支承而能夠沿導軌的長度方向移動，該直線引導件包括彼此平行地設置的一對上述導軌和被各導軌分別引導而沿導軌移動的滑塊，上述直線伺服電機用于使該工作臺沿上述導軌移動，其特征在于，上述直線伺服電機使用帶芯型的直線伺服電機，在上述導軌的外側，該直線伺服電機的定子分別以與各導軌平行且朝向工作臺側的狀態配置在比該導軌高的位置，并且，在上述工作臺的兩側部，上述直線伺服電機的動子配置在與上述定子的靠工作臺的一側相對的位置。

發明的效果

采用本發明的激光加工設備用工作臺裝置，由于配置于一對導軌的外側上方位置的定子和安裝在工作臺的兩側部的動子之間的吸引力而在比導軌高的位置產生從兩側拉拽工作臺的張力，因此能夠防止工作臺的中央部因工作臺自身的重量而向下方撓曲。

附圖說明

圖1是表示本發明的激光加工設備用工作臺裝置的一實施例的主要部分的主視圖。

圖2是該工作臺裝置的主視圖。

圖3是該工作臺裝置的俯視圖。

具體實施方式

本實施例所示的激光加工設備用工作臺裝置在基臺11的兩側部分分別具有用于將門型構造的工作臺12以能夠移動的方式支承的直線引導件13和用于使工作臺12移動的作為驅動源的直線伺服電機14。直線引導件13包括彼此平行地設置的一對導軌15、15和被各導軌15、15分別引導而能沿導軌15的長度方向移動的滑塊16、16，滑塊16安裝于被形成在工作臺12的臺面部12a的兩側下部的腿部12b的下表面，以從導軌15的上方騎跨在導軌15上的方式設置。

上述直線伺服電機14為帶芯型的直線伺服電機，由磁極交替地排列設置的定子17和在芯上纏繞導線而成的動子18構成。在豎立于上述導軌15的外側的支承構件11a的內表面(靠工作臺側的表面)的比導軌15高的位置，上述定子17以朝向工作臺12側的狀態且以與導軌15平行地沿著導軌15的狀態在基臺11的整個長度范圍內配置。并且，在上述工作臺12的上部外表面、即腿部12b的上部的臺面部12a的兩側部且是在比上述導軌15高的位置，上述動子18分別安裝在成為與上述定子17的靠工作臺12的一側相對的狀態的位置，在導軌15和動子18之間設有規定的間隔。