[發明專利]用于晶體管柵極的帽蓋介電結構有效
| 申請號： | 201180073809.1 | 申請日： | 2011-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN103828057B | 公開（公告）日： | 2016-11-30 |
| 發明（設計）人： | A·W·羅森鮑姆;D-H·梅伊;S·S·普拉丹 | 申請（專利權）人： | 英特爾公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 過曉東;譚邦會 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 晶體管 柵極 帽蓋介電 結構 | ||
【說明書】：
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