[發明專利]位移量監視電極的構造

有效

• 申請號: 201180072685.5
• 申請日: 2011-08-09
• 公開（公告）號: CN103717997A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 成田勝俊
• 申請（專利權）人: 豐田自動車株式會社
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;G01B7/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 熊傳芳;蘇卉

1.一種位移量監視電極的構造，其中，分別由基部及從該基部沿著與基板平行的預定軸向延伸的電極指構成的梳齒狀的、相對于所述基板被固定的固定電極和能在所述預定軸向上位移的可動電極以相互的所述電極指彼此嚙合的方式相向配置，基于所述固定電極與所述可動電極之間的靜電電容的變化量來監視應以目標振幅驅動的檢測質量的位移量，所述位移量監視電極的構造的特征在于，

所述靜電電容的變化量相對于所述可動電極向所述預定軸向的位移量的變化靈敏度具有如下特性：在該可動電極向該預定軸向的位移達到與所述目標振幅對應的目標位移量之后與達到該目標位移量之前相比變大。

2.根據權利要求1所述的位移量監視電極的構造，其特征在于，

所述靜電電容的變化量相對于所述可動電極從中立位置向所述預定軸向的一方的位移量的變化靈敏度及所述靜電電容的變化量相對于所述可動電極從中立位置向所述預定軸向的另一方的位移量的變化靈敏度分別具有所述特性。

3.根據權利要求1或2所述的位移量監視電極的構造，其特征在于，

所述固定電極及所述可動電極的至少一方形成為，所述固定電極及所述可動電極的所述電極指彼此以預定距離相向的面的總面積的變化靈敏度在該可動電極向所述預定軸向的位移達到所述目標位移量之后與達到該目標位移量之前相比變大。

4.根據權利要求3所述的位移量監視電極的構造，其特征在于，

所述固定電極及所述可動電極形成為，所述固定電極及所述可動電極的所述電極指彼此以預定距離相向的部位的個數在該可動電極向所述預定軸向的位移達到所述目標位移量之后與達到該目標位移量之前相比增加。

5.根據權利要求3所述的位移量監視電極的構造，其特征在于，

所述固定電極及所述可動電極的至少一方形成為，所述固定電極及所述可動電極的所述電極指彼此以預定距離相向的面在垂直于所述基板的方向上的長度在該可動電極向所述預定軸向的位移達到所述目標位移量之后與達到該目標位移量之前相比變大。

6.根據權利要求1或2所述的位移量監視電極的構造，其特征在于，

所述固定電極及所述可動電極的至少一方形成為，所述固定電極及所述可動電極的所述電極指彼此相向的間隔在該可動電極向所述預定軸向的位移達到所述目標位移量之后與達到該目標位移量之前相比變小。

7.根據權利要求1或2所述的位移量監視電極的構造，其特征在于，

所述固定電極及所述可動電極的至少一方構成為，所述固定電極及所述可動電極的彼此以預定距離相向的所述電極指之間的介電常數在該可動電極向所述預定軸向的位移達到所述目標位移量之后與達到該目標位移量之前相比變大。