[發明專利]形成圓柱形濺射靶組件的方法

有效

• 申請號: 201180071969.2
• 申請日: 2011-04-29
• 公開（公告）號: CN103620082A
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: D.武爾青格;D.丹尼爾
• 申請（專利權）人: 普萊克斯S.T.技術有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K1/00;G01N29/11
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 譚佐晞;楊炯

1.?一種形成圓柱形濺射靶組件的方法，所述方法包括以下步驟：

(a)提供圓柱形背襯管；

(b)提供圓柱形濺射靶，所述圓柱形濺射靶的內徑大于所述背襯管的外徑；

(c)圍繞所述背襯管布置所述濺射靶；以及

(d)通過在所述背襯管與所述濺射靶之間提供焊料層來將所述濺射靶結合至所述背襯管；

其特征在于，步驟(d)包括使所述焊料層定向地固化。

2.?根據權利要求1所述的方法，其中，在所述焊料層的固化期間，沿著所述濺射靶組件的縱向軸線建立溫度梯度。

3.?根據權利要求2所述的方法，其中，在所述焊料層的固化期間，建立冷卻前部，所述冷卻前部沿著所述濺射靶組件的所述縱向軸線逐漸地移動。

4.?根據權利要求3所述的方法，其中，在所述焊料層的固化期間，所述背襯管的內部逐漸地用冷卻介質填充。

5.?根據權利要求3所述的方法，其中，在所述焊料層的固化期間，熱交換裝置定位在所述背襯管的內部內，所述熱交換裝置運行，從而使得熱交換在其內實現的區域沿著所述濺射靶組件的所述縱向軸線逐漸地移動。

6.?根據權利要求3所述的方法，其中，在所述焊料層的固化期間，熱交換裝置定位在所述背襯管的內部內，所述熱交換裝置運行，從而使得熱交換在其內實現的區域沿著所述濺射靶組件的所述縱向軸線逐漸地增大。

7.?根據權利要求3至6中任一項所述的方法，其中，在所述焊料層的固化期間，熱交換裝置圍繞所述濺射靶的外部定位，所述熱交換裝置運行，從而使得熱交換在其內實現的區域沿著所述濺射靶組件的所述縱向軸線逐漸地移動。

8.?根據權利要求7所述的方法，其中，在所述焊料層的固化期間，冷卻環軸向地沿著所述濺射靶組件移動。

9.?根據權利要求3至6中任一項所述的方法，其中，在所述焊料層的固化期間，熱交換裝置圍繞所述濺射靶的外部定位，所述熱交換裝置運行，從而使得熱交換在其內實現的區域沿著所述濺射靶組件的所述縱向軸線逐漸地增大。

10.?根據權利要求6或9所述的方法，其中，所述熱交換裝置包括沿著所述濺射靶組件的所述縱向軸線定位的多個熱交換區段，并且其中在所述焊料層的固化期間，所述熱交換區段以按順序的方式運行。

11.?根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，在步驟(c)中，在所述背襯板與所述濺射靶之間形成間隙，并且其中步驟(d)包括將熔融焊料填充入所述間隙。

12.?根據權利要求11所述的方法，其中，在步驟(d)期間，所述濺射靶與所述背襯管被定向使得它們的縱向軸線基本上是豎直的，并且其中所述熔融焊料從所述間隙的底部填充入所述間隙。

13.?根據權利要求11或12所述的方法，其中，在將熔融焊料填充入所述間隙期間，真空被施加至所述間隙。

14.?根據權利要求11至13中任一項所述的方法，其中，在將熔融焊料填充入所述間隙期間，所述濺射靶組件被加熱，優選地被加熱到高于所述焊料的熔點的溫度。

15.?根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，在步驟(c)之前所述背襯管的外部表面被磨光。

16.?根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，在步驟(c)之前，所述背襯管的外部表面和/或所述濺射靶的內部表面涂鍍有結合層體系。

17.?根據權利要求16所述的方法，其中，所述結合層體系包括促進粘附的底涂層、中間層以及保護性頂涂層。

18.?根據權利要求17所述的方法，其中，所述底涂層包括鈦層、鉻層，或鎳與鉻的合金層，所述中間層包括鎳、鎳釩合金或鈀，并且所述頂涂層包括銀。

19.?根據權利要求16至18中任一項所述的方法，其中，所述結合層體系通過物理氣相沉積來涂覆。

20.?根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述焊料層主要包括銦，并且優選地所述焊料層由銦組成。