[發明專利]檢查工具

有效

• 申請號: 201180067114.2
• 申請日: 2011-05-23
• 公開（公告）號: CN103348255A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 宮武忠數;藤野真;岡本圭弘;樸胎根
• 申請（專利權）人: 日本電產理德株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/26
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術領域

本發明涉及一種檢查工具，其將檢查裝置與預先設定于形成有多個配線的基板等被檢查物的檢查對象部上的檢查點電連接。

背景技術

檢查工具用于經由觸頭從檢查裝置向被檢查物所具有的檢查對象部的預定檢查位置提供電力（電信號等），并且，從檢查對象部檢測電信號，從而檢測檢查對象部的電特性以及進行動作試驗等。

作為被檢查物，例如有印刷配線基板、柔性基板、陶瓷多層配線基板、液晶顯示器和等離子顯示器用的電極板、以及半導體封裝用的封裝基板和膜形載體等各種基板、半導體晶圓和半導體芯片和CSP（Chip?size?package）等半導體裝置。

在本說明書中，將這些上述的被檢查物統稱為“被檢查物”，將設定于被檢查物的檢查對象部稱為“檢查點”。

例如在被檢查物為基板且在該被檢查物上搭載有IC等半導體電路和電阻器等電氣/電子元件時，形成于基板上的配線和電極成為對象部。在該情況下，為了保證作為對象部的配線能夠正確地向這些電氣/電子元件傳遞電信號，對形成于安裝電氣/電子元件之前的印刷配線基板、液晶面板和等離子顯示器面板的配線上的預定檢查點之間的電阻值等電特性進行測定，從而判斷其配線是否良好。

具體而言，其配線是否良好的判定通過如下方法進行：使電流提供用端子和/或電壓測定用觸頭的前端抵接于各檢查點，從該觸頭的電流提供用端子向檢查點提供測定用電流，并且測定與檢查點抵接的觸頭的前端之間的配線產生的電壓，從而由這些提供電流和所測定的電壓算出預定檢查點之間的配線的電阻值。

并且，在利用基板檢查裝置對檢查用基板進行檢查時，使工具移動單元移動從而使基板檢查工具的檢查用觸頭（接觸引腳）與檢查用基板的接觸部分抵接，由此進行預定的檢查，當檢查結束時，進行通過工具移動單元使檢查工具移動而遠離檢查用基板的控制。

在此，例如日本專利文獻1所公開的檢查工具具備前端側支承體、與該前端側支承體隔開預定的間隙配置的后端側支承體、以及連接前端側支承體和后端側支承體的連接體，在前端側支承體沿與對置于檢查對象的對置面正交的方向形成有前端側貫穿插入孔，在后端側支承體沿相對于前端側貫穿插入孔的形成方向傾斜的方向形成有后端側貫穿插入孔。并且，后端側貫穿插入孔以使貫穿插入于該后端側貫穿插入孔的探頭的前端側朝向前端側貫穿插入孔的方式，相對于前端側貫穿插入孔傾斜。

并且，形成有供探頭的后端接觸的電極的電極支承體在與保持探頭的后端側支承體之間隔開預定的間隙地配置，且具備對后端側支承體施力的施力機構。該施力機構的前端形成為圓錐狀，且插入于設置在后端側支承體的供施力機構抵接的部分的插入孔中，由此，還進行支承于電極支承體的探頭的后端與電極之間的定位。

在日本專利文獻1所公開的檢查工具中，為了抑制由于探頭的前端在與檢查點的表面接觸的狀態下摩擦偏移而在檢查點表面產生打痕，以只在檢查時使探頭的前端突出的方式設置施力機構。

然而，在日本專利文獻1所示的檢查工具中，探頭的后端部分的長度形成為比后端側支承體的最靠后側的小徑孔的軸向長度長。由于如此形成，因此探頭的后端向探頭后端的與后端側支承體的后側表面平行的面方向偏離。

因此，每當探頭的前端與被檢查物的檢查點抵接（每次檢查）時，探頭的后端與電極接觸的狀態都不穩定，每次檢查時存在探頭與電極間的接觸電阻發生較大變化的問題。因為存在這種問題，所以在每次檢查時接觸電阻值都發生變化，從而無法實施正確的檢查。

并且，還存在有在反復進行檢查時，探頭的后端擦傷電極表面而導致電極表面磨損，從而很難得到正確的檢查結果的耐久性問題。

并且，在日本專利文獻1的公開技術中，由于對施力機構賦予定位功能，因此施力機構的前端或插入孔因抵接而磨損。在該情況下，由于產生前端比初始狀態更深地進入插入孔的情況，因此若前端或插入孔磨損，則作用力會發生變化。由于設置了多個施力機構和多個插入孔，因此施力機構與插入孔間的作用力相應于前端和插入孔的磨損程度而非恒定，所以后端側支承體對電極支承體施加的力會根據部位而有所不同。因此，當對置面靠近接觸面時，對置面與接觸面抵抗根據部位而不同的作用力而靠近，從而探頭的前端與檢查點接觸。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2009-047512號公報

發明內容

發明所要解決的課題

本發明是鑒于以上情況而完成的，其提供一種使觸頭的后端與電極之間的定位變得容易，且能夠正確地實施檢查的檢查工具。

并且，本發明提供一種容易進行觸頭的更換等維護的檢查工具。