[發明專利]玻璃基板

有效

• 申請號: 201180059400.4
• 申請日: 2011-11-29
• 公開（公告）號: CN103250046A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 樋口誠彥;楜澤信;藤井信治
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: G01N21/896
• 分類號: G01N21/896
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 謝麗娜;關兆輝

1.一種玻璃基板，其特征在于，

設玻璃基板的板厚為T(μm)、從該玻璃基板的表面到該玻璃基板內存在的氣泡的距離為D(μm)、上述氣泡的換算球形直徑為e(μm)時，距至少一個表面為T/2(μm)以內的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足：

e≤0.01×D^1.6+15。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板，其中，

通過如下的玻璃基板檢查方法判斷為距至少上述表面為T/2(μm)以內的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足：

e≤0.01×D^1.6+15，

所述玻璃基板檢查方法包括以下步驟：

拍攝步驟，從光源向沿著痕紋方向傳送的玻璃基板照射光，通過在經上述玻璃基板反射的光所到達的位置配置的拍攝單元，對上述玻璃基板進行拍攝；

運算步驟，基于由上述拍攝單元拍攝到的圖像內的、由上述玻璃基板內的同一氣泡引起的兩個相互重疊的橢圓形的像的位置關系，計算上述玻璃基板內的上述氣泡的高度方向位置；

換算球形直徑計算步驟，計算上述氣泡的換算球形直徑e；以及

判斷步驟，判斷在由上述氣泡的高度方向位置決定的從玻璃基板的表面到氣泡的距離D和上述氣泡的換算球形直徑e之間，是否滿足e≤0.01×D^1.6+15。

3.根據權利要求2所述的玻璃基板，其中，

玻璃基板檢查方法

在運算步驟中，計算從由同一氣泡引起的兩個相互重疊的像的外切矩形的、與相當于玻璃基板的傳送方向的方向平行的邊的像素數所對應的在實際空間中的長度減去氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長度所得的值，通過所計算的上述值和上述玻璃基板內的光的折射角來計算上述玻璃基板內的上述氣泡的高度方向位置；

包括利用由拍攝單元拍攝到的圖像來計算氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長度的步驟；

在換算球形直徑計算步驟中，設氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長度為s(μm)、氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長度為t(μm)時，通過計算(s×t²)^1/3來計算該氣泡的換算球形直徑e；以及

在判斷步驟中，判斷在由上述氣泡的高度方向位置決定的從玻璃基板的表面到氣泡的距離D和上述氣泡的換算球形直徑e之間，是否滿足e≤0.01×D^1.6+15，

通過上述玻璃基板檢查方法，判斷為距至少上述表面為T/2(μm)以內的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足：

e≤0.01×D^1.6+15。

4.根據權利要求2所述的玻璃基板，其中，

玻璃基板檢查方法

在運算步驟中，根據由同一氣泡引起的兩個相互重疊的像的位置關系，利用包含與傳送方向正交的玻璃基板的寬度方向上的像的位置作為變量的、預先確定的計算式，計算上述氣泡的特征量，利用該特征量，計算從上述兩個相互重疊的像的外切矩形的、與相當于玻璃基板的傳送方向的方向平行的邊的像素數所對應的在實際空間中的長度減去氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長度所得的值，通過所計算的上述值和上述玻璃基板內的光的折射角來計算上述玻璃基板內的上述氣泡的高度方向位置；

包括利用由拍攝單元拍攝到的圖像來計算氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長度的步驟；

在換算球形直徑計算步驟中，設氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長度為s(μm)、氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長度為t(μm)時，通過計算(s×t²)^1/3來計算該氣泡的換算球形直徑e；以及

在判斷步驟中，判斷在由上述氣泡的高度方向位置決定的從玻璃基板的表面到氣泡的距離D和上述氣泡的換算球形直徑e之間，是否滿足e≤0.01×D^1.6+15，

通過上述玻璃基板檢查方法，判斷為距至少上述表面為T/2(μm)以內的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足：

e≤0.01×D^1.6+15。