[發明專利]用于減小激光劃刻的錐度的方法及設備

無效

• 申請號: 201180057090.2
• 申請日: 2011-10-27
• 公開（公告）號: CN103228396A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 詹姆士·N·歐布萊恩;喬瑟夫·G·法蘭柯爾
• 申請（專利權）人: 電子科學工業有限公司
• 主分類號: B23K26/04
• 分類號: B23K26/04;B23K26/38;H01L21/301
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 齊楊

1.一種減小襯底中的激光劃刻的錐度的方法，其包括：

將激光束沿垂直于所述激光束的第一切割方向的第一方向瞄準所述襯底的表面，且使所述激光束相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的線以束傾斜角傾斜；

將所述激光束沿垂直于所述激光束的所述第一切割方向的第二方向瞄準所述襯底的所述表面，且使所述激光束相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線以所述束傾斜角傾斜；及

通過以下操作在所述襯底的所述表面中形成單個劃刻線：

在將所述激光束沿所述第一方向瞄準的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割；及

在將所述激光束沿所述第二方向瞄準的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及與所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者進行切割。

2.根據權利要求1所述的方法，其中將所述激光束沿所述第一方向瞄準所述襯底的所述表面及將所述激光束沿所述第二方向瞄準所述襯底的所述表面包括在沿所述第一方向的所述束傾斜角與沿所述第二方向的所述束傾斜角之間抖動所述激光束；且其中在所述襯底的所述表面中形成所述單個劃刻線包括僅沿所述第一切割方向進行切割。

3.根據權利要求1所述的方法，其中在將所述激光束沿所述第二方向瞄準的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及與所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者進行切割包括：在將所述激光束沿所述第二方向瞄準的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述束傾斜角為足以產生所述單個劃刻線的大體上垂直側壁的角。

5.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括：

確定所述束傾斜角。

6.根據權利要求5所述的方法，其中確定所述束傾斜角包括：

使用所述激光束在測試襯底的表面中鉆出測試劃刻線，所述激光束沿從所述測試襯底的所述表面垂直延伸的線瞄準；

測量所述測試劃刻線的側壁的錐度角；及

使用所述錐度角作為所述束傾斜角來處理所述襯底。

7.根據權利要求6所述的方法，其進一步包括：

在將所述激光束沿所述第一方向或所述第二方向中的至少一者瞄準且使所述激光束相對于從所述測試襯底的所述表面垂直延伸的所述線以所述錐度角傾斜的同時在所述測試襯底的所述表面中切割第二切口線；及

在使用所述錐度角作為所述束傾斜角來處理所述襯底之前調整所述錐度角，所述調整基于所述第二切口線的側壁的角。

8.根據權利要求5所述的方法，其中確定所述束傾斜角包括：

確定所述激光束的錐度角；及

使所述束傾斜角基于所述錐度角。

9.根據權利要求1所述的方法，其中在將所述激光束沿所述第一方向瞄準的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割包括：在沿所述第一方向從所述單個劃刻線的開始進行切割直到到達所述單個劃刻線的末尾為止的同時使所述激光束維持相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線成所述束傾斜角，所述方法進一步包括：

在到達所述單個劃刻線的所述末尾之后切換所述激光束的位置以將所述激光束沿所述第二方向瞄準所述襯底的所述表面；其中在將所述激光束沿所述第二方向瞄準的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及所述第二切割方向中的一者進行切割包括：在沿所述第二方向從所述單個劃刻線的所述末尾進行切割直到到達所述單個劃刻線的所述開始為止的同時使所述激光束維持相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線成所述束傾斜角。