[發明專利]壓電陶瓷、其制造方法、壓電元件、排液頭、超聲波馬達和清塵器

有效

• 申請號: 201180056871.X
• 申請日: 2011-11-18
• 公開（公告）號: CN103237774A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 松田堅義;齋藤宏;古田達雄;林潤平;渡邊隆之;伊福俊博
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: C04B35/468
• 分類號: C04B35/468;H01L41/187
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 李英

1.壓電陶瓷的制造方法，包括：

形成含有鈦酸鋇顆粒的氧化物粉末組成的成型體；

燒結該成型體；和

燒結后使該成型體的溫度降低，

燒結包括

(A)將該成型體的溫度升高到該成型體的收縮過程的溫度范圍內的第一溫度；

(B)在(A)后將該成型體的溫度升高到該成型體的液相燒結過程的溫度范圍內的第二溫度；

(C)在(B)后將該成型體的溫度降低到該成型體的收縮過程的溫度范圍內的第三溫度；和

(D)在(C)后保持該第三溫度。

2.根據權利要求1的方法，其中該第一溫度為900℃-1200℃，該第二溫度為1350℃-1550℃，和該第三溫度為900℃-1200℃。

3.根據權利要求1的方法，其中將(B)、(C)和(D)反復2-20次。

4.根據權利要求1的方法，其中在(B)中將溫度升高到第二溫度的速率為10℃/分鐘-30℃/分鐘。

5.根據權利要求1的方法，其中該燒結還包括，在(A)之前，通過在低于或等于第一溫度的溫度下保持該成型體來對該成型體脫脂。

6.根據權利要求1的方法，其中(B)中的第二溫度與(A)中的第一溫度之差為200℃-500℃。

7.根據權利要求1的方法，其中(A)中的第一溫度與(C)和(D)中的第三溫度之差為30℃以下。

8.根據權利要求1的方法，其中，在(A)中將該第一溫度保持60分鐘-240分鐘。

9.根據權利要求1的方法，其中，在(B)后將該第二溫度保持5分鐘以下。

10.根據權利要求1的方法，其中，在(D)中，保持第三溫度的累積時間為10小時-70小時。

11.根據權利要求1的方法，其中該氧化物粉末含有0.04-0.20質量％的錳，基于金屬，相對于鈦酸鋇。

12.根據權利要求1的方法，其中成型體中鈦酸鋇的初級粒子具有1μm以下的平均顆粒直徑。

13.多晶壓電陶瓷，包括：

鈦酸鋇；和

0.04質量％-0.20質量％的錳，相對于鈦酸鋇，

其中構成該壓電陶瓷的晶粒的平均圓當量直徑為2μm-9μm，具有20μm以下的圓當量直徑的晶粒的個數百分比為99個數％以上，并且該壓電陶瓷的相對密度為97.5％-100％。

14.根據權利要求12的壓電陶瓷，其中在-30℃至50℃的范圍內將該陶瓷的溫度升高時與將該陶瓷的溫度降低時之間，楊氏模量Y₁₁的最小值不同。

15.壓電元件，包括：

第一電極；

壓電陶瓷；和

第二電極，

其中該壓電陶瓷是根據權利要求13或14的壓電陶瓷。

16.排液頭，包括：根據權利要求15的壓電元件。

17.超聲波馬達，包括：根據權利要求15的壓電元件。

18.消塵器，包括：根據權利要求15的壓電元件。