[發明專利]等離子體裝置

無效

• 申請號: 201180054048.5
• 申請日: 2011-01-12
• 公開（公告）號: CN103201407A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 安東靖典
• 申請（專利權）人: 日新電機株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;張洋

1.一種等離子體裝置，包括：

多個電極，呈平面狀配置且各自具有長方形的平面形狀；

多個靶部件，對應于所述多個電極而設置，所述多個靶部件各自由電介質所構成且與對應的電極的基板側的表面接觸配置；

第一電源，使具有第一頻率的高頻電流從所述多個電極的一端流入所述多個電極；及

第二電源，以將具有比所述第一頻率低的第二頻率的電壓交替地施加給兩個電極的方式對所述多個電極施加具有所述第二頻率的電壓。

2.根據權利要求1所述的等離子體裝置，其中所述多個電極各自包括：

平板部件，具有所述平面形狀且由金屬所構成；

多個電容元件，在所述平板部件的長邊方向上插入至在所述平板部件的所述基板側的表面所形成的多個貫穿孔內，且所述多個電容元件各自的兩端與所述平板部件電性連接；及

多個絕緣物，覆蓋所述多個電容元件。

3.根據權利要求2所述的等離子體裝置，其中所述多個電容元件各自由并聯連接在所述平板部件中的多個電容器所構成。

4.根據權利要求2或3所述的等離子體裝置，其中所述多個貫穿孔以設定的間隔形成在所述平板部件中。

5.根據權利要求1至4中任一所述的等離子體裝置，其中還包括多個電感，所述多個電感配置在所述第一電源與所述多個電極之間，所述多個電感并將流入所述多個電極的多個所述高頻電流設定為同等。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的等離子體裝置，其中還包括多個氣體配管，所述多個氣體配管在鄰接的兩個電極間與所述多個電極的外側沿著所述電極的長邊方向而配置。

7.根據權利要求6所述的等離子體裝置，其中所述多個氣體配管各自具有朝向與從所述電極向所述基板的方向相反的方向的多個孔。