[發(fā)明專利]在碳層上具有鈦金屬層作為電極材料的電化學(xué)生物傳感器電極帶及其制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201180053215.4 | 申請日: | 2011-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN103201619A | 公開(公告)日: | 2013-07-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 金石勛 | 申請(專利權(quán))人: | 3M創(chuàng)新有限公司 |
| 主分類號: | G01N27/327 | 分類號: | G01N27/327 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人: | 顧晉偉;李德山 |
| 地址: | 美國明*** | 國省代碼: | 美國;US |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 碳層上 具有 金屬 作為 電極 材料 電化學(xué) 生物 傳感器 及其 制造 方法 | ||
1.一種電化學(xué)生物傳感器電極帶,包括:非導(dǎo)電基底;以及在所述基底上形成且用作工作電極和參比電極的至少兩個電極,
其中所述電極包括碳層和金屬層,
其中所述碳層形成在所述基底上,而所述金屬層形成在所述碳層上,
并且所述金屬層含有鈦。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)生物傳感器電極帶,其中所述碳層和所述金屬層通過濺鍍形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)生物傳感器電極帶,其中所述碳層的厚度為
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)生物傳感器電極帶,其中所述金屬層的厚度為
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)生物傳感器電極帶,其中所述非導(dǎo)電基底是絕緣聚合物膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)生物傳感器電極帶,其中所述電化學(xué)生物傳感器電極帶還包括選自識別電極和輔助電極中的至少一個電極。
7.一種用于制造電化學(xué)生物傳感器電極帶的方法,所述方法包括:
制備非導(dǎo)電基底;
在所述基底上形成碳層;
在所形成的碳層上形成含有鈦的金屬層,從而形成由所述碳層和所述金屬層構(gòu)成的導(dǎo)電層;以及
對所述導(dǎo)電層進(jìn)行局部蝕刻,以將電極形狀圖案化。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造電化學(xué)生物傳感器電極帶的方法,其中所述碳層和所述含有鈦的金屬層通過濺鍍形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于制造電化學(xué)生物傳感器電極帶的方法,其中所述濺鍍在同一腔室中執(zhí)行。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造電化學(xué)生物傳感器電極帶的方法,其中所述碳層的厚度為
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造電化學(xué)生物傳感器電極帶的方法,其中所述含有鈦的金屬層的厚度為
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造電化學(xué)生物傳感器電極帶的方法,其中所述蝕刻是使用激光來執(zhí)行的。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造電化學(xué)生物傳感器電極帶的方法,其中通過蝕刻形成的電極是工作電極和參比電極。
14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造電化學(xué)生物傳感器電極帶的方法,其中除了工作電極和參比電極外,還形成選自輔助電極和識別電極中的至少一個。
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