[發(fā)明專利]感光性組合物、由其形成的固化膜及具有固化膜的元件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201180052802.1
• 申請日: 2011-08-30
• 公開（公告）號: CN103180784A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 藤原健典;諏訪充史;內(nèi)田圭一;福原將;妹尾將秀
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G02F1/1333;G03F7/023;G03F7/075
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔡曉菡;孟慧嵐

1.正型感光性組合物，其為含有(A)堿可溶性聚硅氧烷和/或堿可溶性丙烯酸系樹脂、(B)重氮萘醌化合物、(C)溶劑和(D)金屬螯合物的正型感光性組合物，其中，(D)金屬螯合物具有下述通式(1)所示的結(jié)構(gòu)，相對于(A)堿可溶性聚硅氧烷和/或堿可溶性丙烯酸系樹脂100重量份，(D)金屬螯合物的含量為0.1～5重量份，

通式(1)所示的金屬螯合物中，M為金屬原子，R¹可以相同或不同、分別表示氫、烷基、芳基、烯基以及它們的取代物，R²、R³可以相同或不同、分別表示氫、烷基、芳基、烯基、烷氧基以及它們的取代物，j表示金屬原子M的化合價，k表示0～j的整數(shù)。

2.如權(quán)利要求1所述的正型感光性組合物，其中，通式(1)中的金屬原子M為鈦、鋯或鋁金屬原子中的任一種。

3.如權(quán)利要求1或2所述的正型感光性組合物，其中，通式(1)中的金屬原子M為鋁金屬原子。

4.如權(quán)利要求3所述的正型感光性組合物，其中，相對于(A)堿可溶性聚硅氧烷和/或堿可溶性丙烯酸系樹脂100重量份，金屬螯合物的含量為0.1～1.5重量份。

5.如權(quán)利要求1或2所述的正型感光性組合物，其中，通式(1)的M為鋯金屬原子，相對于堿可溶性聚硅氧烷和/或堿可溶性丙烯酸系樹脂100重量份，(D)金屬螯合物的含量為0.3～4重量份。

6.如權(quán)利要求1～5中任一項所述的正型感光性組合物，其中，(A)堿可溶性聚硅氧烷中的苯基的含有率，相對于Si原子為5%摩爾以上且70摩爾%以下。

7.如權(quán)利要求1～5中任一項所述的正型感光性組合物，其特征在于，(A)堿可溶性聚硅氧烷中的環(huán)氧基和/或乙烯基的含有率，相對于Si原子為1%摩爾以上且50摩爾%以下。

8.如權(quán)利要求1～7中任一項所述的正型感光性組合物，其進一步含有通式(3)所示的有機硅烷作為硅烷偶聯(lián)劑，

在通式(3)所示的有機硅烷中，式中的R⁶～R⁹分別獨立地表示氫、碳原子數(shù)為1～6的烷基、碳原子數(shù)為2～6的酰基、碳原子數(shù)為6～15的芳基中的任一種，這些烷基、酰基、芳基均可以為未取代物、取代物的任一種。

9.如權(quán)利要求1～8中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，進一步含有溶解促進劑。

10.如權(quán)利要求9所述的正型感光性組合物，其中，溶解促進劑為酚類化合物。

11.如權(quán)利要求1～10中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其進一步含有交聯(lián)劑。

12.如權(quán)利要求11所述的正型感光性組合物，其中，交聯(lián)劑含有羥甲基系化合物。

13.固化膜，其為由權(quán)利要求1～12中任一項所述的正型感光性組合物形成的固化膜，在膜厚為3μm時、波長400nm下的透光率為85%以上。

14.固化膜，其為由權(quán)利要求1～12中任一項所述的正型感光性組合物形成的固化膜，其中，相對于堿可溶性聚硅氧烷和/或堿可溶性丙烯酸系樹脂組合物100重量份，選自鈦、鋯、鋁、鋅、鈷、鉬、鑭、鋇、鍶、鎂、鈣中的一種以上的金屬含有率為0.005～1重量份。

15.元件，其具備權(quán)利要求13或14所述的固化膜。