[發(fā)明專利]熱處理玻璃基材的設(shè)備和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201180041421.3
• 申請(qǐng)日: 2011-08-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103069329A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: F·T·科波拉;M·J·馬申斯基
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13;C03B20/00;H01L21/324
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 丁曉峰

1.一種在熔爐內(nèi)熱處理多個(gè)玻璃基材的方法，所述方法包括：

將至少一個(gè)間隔件定位在所述多個(gè)玻璃基材的成對(duì)相鄰玻璃基材之間，所述至少一個(gè)間隔件包括界定開(kāi)口內(nèi)部的封閉外部框部分，且其中一個(gè)或多個(gè)間隔件的熱膨脹系數(shù)與所述多個(gè)玻璃基材的熱膨脹系數(shù)之差小于10x10^-7/℃；

將所述多個(gè)玻璃基材以大致垂直定向支承在支承平臺(tái)上，其中所述多個(gè)玻璃基材和定位在相鄰玻璃基材之間的所述至少一個(gè)間隔件用偏置力以接觸關(guān)系偏置在一起；

在所述熔爐內(nèi)加熱所述多個(gè)玻璃基材；

冷卻所述多個(gè)玻璃基材；以及

其中所述多個(gè)玻璃基材冷卻后的偏離平面扭曲不超過(guò)100μm。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一個(gè)間隔件包括在每對(duì)相鄰玻璃基材之間以垂直和/或水平陣列布置的多個(gè)間隔件。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述多個(gè)間隔件中的相鄰間隔件在每個(gè)相鄰間隔件的外側(cè)邊緣部分處彼此接觸。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，將所述多個(gè)玻璃基材加熱到高于所述多個(gè)玻璃基材的退火點(diǎn)且低于所述多個(gè)玻璃基材的軟化溫度的溫度。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，將所述多個(gè)玻璃基材加熱到高于700℃的溫度。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一個(gè)間隔件是玻璃或玻璃陶瓷材料。

7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述至少一個(gè)間隔件是玻璃，且所述間隔件的玻璃具有與所述多個(gè)玻璃基材的玻璃成分相同的玻璃成分。

8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述相鄰的玻璃基材和定位在其間的所述至少一個(gè)間隔件形成由所述相鄰玻璃基材和所述至少一個(gè)間隔件界定的封圍空間。

9.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述多個(gè)玻璃基材的每個(gè)玻璃基材的主表面具有至少5m²的表面面積。

10.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，

所述熔爐包括：

第一側(cè)和第二側(cè)；

第一多個(gè)限制銷，所述第一多個(gè)限制銷延伸穿過(guò)所述熔爐的第一側(cè)，所述第一多個(gè)限制銷被剛性保持以防止所述第一多個(gè)限制銷的運(yùn)動(dòng)；

第二多個(gè)限制銷，所述第二多個(gè)限制銷延伸穿過(guò)所述熔爐的第二側(cè)，所述第二組限制銷中的每個(gè)限制銷沿每個(gè)限制銷的縱向軸線可移動(dòng)；以及

其中用所述第二多個(gè)限制銷對(duì)所述多個(gè)玻璃基材施加偏置力。

11.一種用于熱處理多個(gè)玻璃基材的設(shè)備，包括：

熔爐，所述熔爐包括外部封圍壁、內(nèi)部封圍壁、第一側(cè)和第二側(cè)；

第一多個(gè)限制銷，所述第一多個(gè)限制銷延伸穿過(guò)所述熔爐的所述第一側(cè)進(jìn)入由所述熔爐限定的內(nèi)部容積，所述第一多個(gè)限制銷被限制成防止銷的運(yùn)動(dòng)；以及

第二多個(gè)限制銷，所述第二多個(gè)限制銷延伸穿過(guò)所述熔爐的所述第二側(cè)，所述第二多個(gè)限制銷中的每個(gè)限制銷沿所述限制銷的縱向軸線可移動(dòng)，且其中所述第二多個(gè)限制銷中的每個(gè)限制銷包括偏置組件以對(duì)所述多個(gè)玻璃基材施加偏置力。

12.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述內(nèi)部封圍壁是褶皺的。

13.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述第一多個(gè)限制銷中的每個(gè)限制銷包括與所述多個(gè)玻璃基材中的玻璃基材接觸的接觸件和聯(lián)接到所述偏置組件的延伸件，且其中接頭可動(dòng)地連接所述接觸件和所述延伸件。

14.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述第二多個(gè)限制銷中的每個(gè)限制銷包括與所述多個(gè)玻璃基材中的玻璃基材接觸的接觸件和聯(lián)接到所述偏置組件的延伸件，且其中接頭可動(dòng)地連接所述接觸件和所述延伸件。

15.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述偏置組件包括氣動(dòng)缸體。

16.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述偏置組件包括彈簧。

17.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述第二組限制銷的運(yùn)動(dòng)被控制成所述第二多個(gè)限制銷與所述多個(gè)玻璃基材中的最外部玻璃基材之間的接觸位置在加熱期間共面。