[發明專利]研磨用組合物有效

申請號：	201180041128.7	申請日：	2011-08-25
公開（公告）號：	CN103180931A	公開（公告）日：	2013-06-26
發明（設計）人：	蘆高圭史;森永均;田原宗明	申請（專利權）人：	福吉米株式會社
主分類號：	H01L21/02	分類號：	H01L21/02;C09K3/14
代理公司：	北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277	代理人：	劉新宇;李茂家
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關鍵詞：	研磨組合
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【權利要求書】：

1.一種研磨用組合物，其特征在于，其為含有膠體二氧化硅的研磨用組合物，設膠體二氧化硅的平均長徑比為A(無量綱)、膠體二氧化硅的平均粒徑為D(單位nm)、膠體二氧化硅的粒徑的標準偏差為E(單位nm)、膠體二氧化硅中粒徑為1～300nm的顆粒所占的體積比例為F(單位%)時，由式：A×D×E×F求出的值為350,000以上，并且，膠體二氧化硅中粒徑為1～300nm的顆粒所占的體積比例為90%以上。

2.根據權利要求1所述的研磨用組合物，其中，設膠體二氧化硅的長徑比的標準偏差為B(無量綱)時，由式：A×B×D×E×F求出的值為30,000以上。

3.根據權利要求1或2所述的研磨用組合物，其中，膠體二氧化硅中粒徑為50nm以上并且長徑比為1.2以上的顆粒所占的體積比例為50%以上。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的研磨用組合物，其中，膠體二氧化硅中粒徑超過300nm的顆粒所占的體積比例小于2%。

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