[發明專利]含有氟的水的處理方法

無效

• 申請號: 201180026912.0
• 申請日: 2011-06-14
• 公開（公告）號: CN102917987A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 佐藤伸;伊澤周平
• 申請（專利權）人: 栗田工業株式會社
• 主分類號: C02F1/58
• 分類號: C02F1/58
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 崔香丹;張永康

技術領域

本發明涉及含有氟的水的處理方法，具體地，涉及對反應塔向上流通含有氟的水，使其在反應塔內與碳酸鈣粒子接觸，從而，有效地使氟成為氟化鈣而被除去并回收的方法。

背景技術

在半導體制造領域或其相關領域、太陽能電池制造領域、各種金屬材料、單晶材料、光學系材料等的表面處理領域中，會有含有氟的廢水被掛出。

以往，作為含有氟的水的處理方法，提出了將含有氟的水通入碳酸鈣填充塔，使氟轉換成結晶性良好的氟化鈣予以除去、回收的方法。又，此類方法中，已知有通過下述的所謂的旋轉木馬方式進行處理含有氟的水，由此，回收高純度的氟化鈣的方法，即，串聯地連結2個以上的碳酸鈣填充塔，依序將含有氟的水從第一塔通至最終塔，直至第一塔內的碳酸鈣與含有氟的水中的氟反應而完全成為氟化鈣為止，當第一塔內的碳酸鈣完全成為氟化鈣時，取出第一塔內的氟化鈣后再填充新的碳酸鈣，并以此塔做為最終塔進行設置而進行通水（例如，專利文獻1～3）。

以往，作為這種處理含有氟的水所用的碳酸鈣填充塔中所填充的碳酸鈣粒子，由于粒徑過度小的碳酸鈣粒子會溶解于含有氟的水中而無法供予反應，因此，通常使用粒徑為0.3mm左右的碳酸鈣粒子。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平6-254571號公報

專利文獻2：日本特開平7-136667號公報

專利文獻3：日本特開平5-253578號公報

發明內容

發明要解決的課題

但是，粒徑0.3mm左右的碳酸鈣粒子有以下（1）、（2）缺點。

（1）由于粒子較大，所以很難在填充塔內流動，因此，極易固黏于塔內。

（2）與粒子較小者相比，其比表面積小，因此，與氟的反應速度慢。

為解決此類問題，以往，是通過在填充塔內通入向上流通的含有氟的水并將一部份從塔上部取出的處理水循環于塔下部的循環方式，提高塔內線速度，由此，使塔內的碳酸鈣粒子流動防止其固黏，又，經由循環通水使其充分地進行反應。但是，該循環通水方式中，必須為使其循環而提供動力，為循環通水其反應塔容積必須較大，在工業上是不利的。

與此相對，只要為粒徑0.05mm以下的小粒徑碳酸鈣粒子時，流動性高，很難固黏，又由于比表面積大，所以與氟的反應速度也較快，因此，能夠不采用循環方式而是采用一次通過（once-through）的方式通水。但是，小粒徑的碳酸鈣仍有以下（i）、（ii）的問題。

（i）易溶于水，因此，供于與氟反應的比率低。

（ii）以一次通過的方式通水時，塔內線速度小，會引起碳酸鈣粒子的流動偏向一邊，結果在塔底部等會形成死水區（dead?space），此部份的碳酸鈣粒子無法供于反應或發生固黏。

本發明的課題是，提供一種使用反應活性及流動性優異的小粒徑碳酸鈣粒子，并以一次通過的方式對反應塔向上流通含有氟的水，由此，有效地除去、回收氟的方法。

解決課題的方法

本發明人等，對上述需要解決的課題進行了銳意研究，結果發現，并不是將小粒徑的碳酸鈣粒子預先填充于反應塔后再通入含有氟的水，而是在對反應塔向上流通含有氟的水時，從反應塔的上方投入小粒徑的碳酸鈣粒子，由此，能夠有效地使其與含有氟的水中的氟反應。

本發明是根據該發現而最終完成的，其要旨如下。

第1技術方案的含有氟的水的處理方法，其從反應塔的下部向上流通含有氟的水，通過該反應塔內的碳酸鈣粒子與該含有氟的水中的氟反應，使該氟成為氟化鈣而除去，并從該反應塔的上部取出被除去氟的處理水，其特征在于，在流通該含有氟的水的該反應塔中，從該反應塔的上部投入碳酸鈣粒子。

第2技術方案的含有氟的水的處理方法，其特征在于，第1技術方案中，所述碳酸鈣粒子是作為粉體被投入所述反應塔。

第3技術方案的含有氟的水的處理方法，其特征在于，第1或第2技術方案中，相對于被流通入該反應塔的含有氟的水中的氟的反應當量，投入所述反應塔的碳酸鈣粒子的投入量是0.9～1.1倍當量。

第4技術方案的含有氟的水的處理方法，其特征在于，第1至第3技術方案的任一技術方案中，控制投入所述反應塔的碳酸鈣粒子的投入量，使從該反應塔取出的處理水的pH值是6以下。

第5技術方案的含有氟的水的處理方法，其特征在于，第4技術方案中，控制投入所述反應塔的碳酸鈣粒子的投入量，使從該反應塔取出的處理水的pH值是4.5～5。