[發明專利]通過迭代的空間諧波階次截斷的計算效率

無效

• 申請號: 201180025313.7
• 申請日: 2011-05-18
• 公開（公告）號: CN102947732A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: A·維德曼;J·J·亨奇
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社;克拉-坦科股份有限公司
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18;G06F19/00
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 南毅寧;陳瀟瀟

1.一種用于改善針對光學計量中的衍射信號的計算效率的方法，該方法包括：

對針對光柵結構的空間諧波階次集合進行仿真；

基于第一圖案來截斷所述空間諧波階次集合以提供空間諧波階次的第一截斷集合；

基于第二圖案，通過迭代過程對所述空間諧波階次的第一截斷集合進行修改以提供空間諧波階次的第二截斷集合，所述第二圖案不同于所述第一圖案；以及

基于所述空間諧波階次的第二截斷集合提供仿真光譜。

2.根據權利要求1所述的方法，其中對所述空間諧波階次的第一截斷集合進行修改包括減去一個或多個單獨的空間諧波階次，以提供所述空間諧波階次的第二截斷集合，其中所述第二圖案小于所述第一圖案。

3.根據權利要求1所述的方法，其中對所述空間諧波階次的第一截斷集合進行修改包括增加一個或多個單獨的空間諧波階次，以提供所述空間諧波階次的第二截斷集合，其中所述第二圖案大于所述第一圖案。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述第一圖案是無轉角的，并且從由圓形和橢圓形組成的組中進行選擇。

5.根據權利要求1所述的方法，該方法還包括：

在進行所述仿真之后且在進行所述截斷之前，對所述空間諧波階次集合中的所述空間諧波階次區分優先次序，其中截斷所述空間諧波階次集合以提供所述空間諧波階次的第一截斷集合是基于所述優先次序的。

6.根據權利要求1所述的方法，該方法還包括：

將所述仿真光譜與樣本光譜進行比較。

7.一種用于改善針對光學計量中的衍射信號的計算效率的方法，該方法包括：

對針對光柵結構的空間諧波階次集合進行仿真；

基于第一圖案來截斷所述空間諧波階次集合以提供空間諧波階次的第一截斷集合；

基于第二圖案，通過迭代過程從所述空間諧波階次的第一截斷集合中減去一個或多個單獨的空間諧波階次，以提供空間諧波階次的第二截斷集合，所述第二圖案不同于所述第一圖案；

基于第三圖案，通過迭代過程增加一個或多個單獨的空間諧波階次到所述空間諧波階次的第二截斷集合，以提供空間諧波階次的第三截斷集合，所述第三圖案不同于所述第一圖案和第二圖案；以及

基于所述空間諧波階次的第三截斷集合提供仿真光譜。

8.根據權利要求7所述的方法，其中所述第一圖案是無轉角的，并且從由圓形和橢圓形組成的組中進行選擇。

9.根據權利要求7所述的方法，該方法還包括：

在進行所述仿真之后且在進行所述截斷之前，對所述空間諧波階次集合中的所述空間諧波階次區分優先次序，其中截斷所述空間諧波階次集合以提供所述空間諧波階次的第一截斷集合是基于所述優先次序的。

10.根據權利要求7所述的方法，該方法還包括：

將所述仿真光譜與樣本光譜進行比較。

11.一種具有存儲在其上的指令的機器可訪問存儲介質，所述指令促使數據處理系統執行用于改善針對光學計量中的衍射信號的計算效率的方法，該方法包括：

對針對光柵結構的空間諧波階次集合進行仿真；

基于第一圖案來截斷所述空間諧波階次集合以提供空間諧波階次的第一截斷集合；

基于第二圖案，通過迭代過程對所述空間諧波階次的第一截斷集合進行修改，以提供空間諧波階次的第二截斷集合，所述第二圖案不同于所述第一圖案；以及

基于所述空間諧波階次的第二截斷集合提供仿真光譜。

12.根據權利要求11所述的存儲介質，其中對所述空間諧波階次的第一截斷集合進行修改包括減去一個或多個單獨的空間諧波階次，以提供所述空間諧波階次的第二截斷集合，其中所述第二圖案小于所述第一圖案。

13.根據權利要求11所述的存儲介質，其中對所述空間諧波階次的第一截斷集合進行修改包括增加一個或多個單獨的空間諧波階次，以提供所述空間諧波階次的第二截斷集合，其中所述第二圖案大于所述第一圖案。

14.根據權利要求11所述的存儲介質，其中所述第一圖案是無轉角的，并且從由圓形和橢圓形組成的組中進行選擇。