[發(fā)明專利]包括校準(zhǔn)系統(tǒng)的圖案生成器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201180022403.0
• 申請日: 2011-03-03
• 公開（公告）號: CN103038707A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A.斯文森;F.瓊森
• 申請（專利權(quán)）人: 麥克羅尼克邁達(dá)塔有限責(zé)任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 曲瑩

相關(guān)申請

本PCT專利申請要求2010年3月3日提交的臨時美國專利申請no.61/282,584的優(yōu)先權(quán)。

背景技術(shù)

在工件上形成圖案時，圖案匹配在進(jìn)行快速實時對準(zhǔn)中是有用的。然而，在至少一些情況下，執(zhí)行足夠精確的圖案匹配和/或以足夠的精度確定工件上待生成圖案中像素的位置是有些困難的。

發(fā)明內(nèi)容

示例性實施例描述了一種包括校準(zhǔn)系統(tǒng)的圖案生成器，該校準(zhǔn)系統(tǒng)構(gòu)造成至少部分地基于從校準(zhǔn)板反射的光束來確定寫入工具的坐標(biāo)系與校準(zhǔn)板的坐標(biāo)系之間的相關(guān)性。

根據(jù)至少一些示例性實施例，校準(zhǔn)系統(tǒng)構(gòu)造成至少部分地基于至少一個光學(xué)相關(guān)性信號或圖案來確定寫入工具的坐標(biāo)系與工件或臺架上的校準(zhǔn)板(例如，附接至載運臺的參考板)的坐標(biāo)系之間的相關(guān)性，所述信號或圖案為從校準(zhǔn)板表面上的至少一幅反射圖案反射的至少一條光束的形式。

根據(jù)至少一些其它的示例性實施例，寫入工具的坐標(biāo)系與校準(zhǔn)板的坐標(biāo)系之間的相關(guān)性至少部分地在工件上生成圖案之前得以確定。

根據(jù)至少一些示例性實施例，校準(zhǔn)系統(tǒng)構(gòu)造成用以當(dāng)寫入工具在工件上生成圖案時確定相關(guān)性，并且圖案生成器構(gòu)造成用以至少部分地基于從校準(zhǔn)板反射的光束(例如，光學(xué)相關(guān)性信號或圖案)進(jìn)行圖案的實時對準(zhǔn)，該信號或圖案為從校準(zhǔn)板表面上的至少一幅反射圖案反射的至少一條光束的形式。

附圖說明

將參照附圖描述示例性實施例，其中：

圖1示出了測量裝置或工具的簡化的示例性實施例，其中激光束沿旋轉(zhuǎn)器的臂反射；

圖2示出了根據(jù)示例性實施例的包括旋轉(zhuǎn)器的測量裝置；

圖3示出了根據(jù)另一個示例性實施例的測量裝置；

圖4示出了根據(jù)示例性實施例的刻度尺的布置；

圖5示出了根據(jù)另一個示例性實施例的刻度尺的布置；

圖6示出了根據(jù)示例性實施例的包括高架刻度尺的測量裝置的一部分；

圖7示出了根據(jù)另一個示例性實施例的測量裝置的一部分；

圖8示出了根據(jù)又一個示例性實施例的測量裝置的一部分；以及

圖9示出了其中使用了從刻度尺底表面的反射的示例性實施例。

圖10示出了根據(jù)示例性實施例的示例性激光直接成像(LDI)寫入器和測量系統(tǒng)的光程。

圖11示出了根據(jù)示例性實施例的測量系統(tǒng)的校準(zhǔn)板的布局。

圖12A示意性地示出了作為旋轉(zhuǎn)器角a的函數(shù)的、分別沿笛卡爾方向x和y的校正(或偏差)函數(shù)f_x(a)和f_y(a)的求解(extraction)，以補償將空間光調(diào)制器(SLM)圖像光學(xué)投射到將通過LDI寫入器曝光的基底上的過程中產(chǎn)生的誤差和缺陷。

圖12B示出了示例性整體坐標(biāo)系，其示出了誤差或缺陷與SLM上的像素的實際位置y₀之間的示例性依從關(guān)系。

圖13示出了一個示例性實施例，其中校準(zhǔn)板安裝在臺架上，并且通過臺架的中間平移來掃描扇形區(qū)域的特征線，以便確定校準(zhǔn)板的角向。

圖14A示出了一個實例，其中SLM行式映像中的均勻照亮和點亮的像素塊橫穿過垂直反射條上的路徑，該反射條在沿SLM行式映像的主軸線定向。

圖14B是示出了圖14A中所穿過的路徑產(chǎn)生的示例性相關(guān)性信號的曲線圖，該信號在低反射率和高反射率之間具有急劇的過渡。

圖15A示出了一個實例，其中SLM行式映像中的均勻照亮的像素塊橫穿過水平反射條上的路徑，該水平條正交于SLM的行式映像定向。

圖15B是示出了圖15A中所穿過的路徑產(chǎn)生的示例性相關(guān)性信號的曲線圖，與圖14B中的信號相比，該信號在低反射率和高反射率之間具有比較平緩的過渡。

圖16A示出了其它具有較低反射率的基底上的傾斜反射條形碼圖案的詳細(xì)視圖。

圖16B是示出了示例性光學(xué)相關(guān)性信號的曲線圖，該信號表示作為旋轉(zhuǎn)器臂的角位置的函數(shù)的SLM行式映像與反射圖案之間的相關(guān)性。

圖17是圖11中所示的軌道的示例性實施例的一部分的更詳細(xì)的視圖。

圖18A和圖18B示出了根據(jù)示例性實施例的用于闡釋y刻度校準(zhǔn)的示例性曲線圖。

圖19是用于示出如何在校準(zhǔn)板上反復(fù)使用軌跡的單次掃描測量結(jié)果的曲線圖，該校準(zhǔn)板如上文參照圖11和圖17所述構(gòu)造成用以提供較大區(qū)域上的有關(guān)變形和偏差的信息。

圖20A和圖20B示出了具有圓柱臺架的常規(guī)處理系統(tǒng)。

圖21示出了具有圓柱臺架的圖案生成器的一部分。