[發明專利]壓電振動器件的密封部件及壓電振動器件

有效

• 申請號: 201180021027.3
• 申請日: 2011-05-27
• 公開（公告）號: CN102918767A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 古城琢也;森口健二;松尾龍二;花木哲也
• 申請（專利權）人: 株式會社大真空
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03B5/32
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍

1.一種壓電振動器件的密封部件，其中，所述壓電振動器件的壓電振動片的振動區域被多個所述密封部件氣密性密封，該壓電振動器件的密封部件的特征在于：

在構成所述密封部件的基材的一主面上成形有凸部，

在所述基材的另一主面上，與所述凸部對應的區域為平坦面，該平坦面以外的區域為彎曲面，

用于連接外部電路基板的多個外部端子形成在所述平坦面上，

用于檢查壓電振動片的多個檢查端子形成在所述彎曲面上。

2.如權利要求1所述的壓電振動器件的密封部件，其特征在于：

在該密封部件中，

形成有貫通所述基材的兩主面的多個通孔，

所述多個通孔的排列相對于所述另一主面的任一邊都傾斜。

3.如權利要求1或2所述的壓電振動器件的密封部件，其特征在于：

所述凸部是構成所述密封部件外形的一個部分的壁部。

4.如權利要求1或2所述的壓電振動器件的密封部件，其特征在于：

在該密封部件中，設有由覆蓋所述檢查端子的絕緣材料構成的絕緣部。

5.如權利要求1或2所述的壓電振動器件的密封部件，其特征在于：

在該密封部件中，圖像識別用的一對識別部作為電極而形成在所述基材的一主面上。

6.如權利要求1或2所述的壓電振動器件的密封部件，其特征在于：

在所述基板的一主面上，形成有既用于壓電振動片又用于圖像識別的枕部。

7.一種壓電振動器件，其特征在于：

設有權利要求1至6中任一項所述的密封部件及所述壓電振動片。

8.如權利要求7所述的壓電振動器件，其特征在于：

集成電路元件被設置在所述密封部件中，

所述密封部件與所述集成電路元件之間的空隙在50μm以下，所述密封部件與所述壓電振動片之間的空隙比所述密封部件與所述集成電路元件之間的空隙還寬。