[發(fā)明專利]壓電體膜、噴墨頭、使用噴墨頭形成圖像的方法、角速度傳感器、使用角速度傳感器測(cè)定角速度的方法、壓電發(fā)電元件以及使用壓電發(fā)電元件的發(fā)電方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201180019166.2
• 申請(qǐng)日: 2011-06-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102859736A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?zhí)尜F圣;田中良明;足立秀明;藤井映志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L41/187
• 分類號(hào): H01L41/187;H01L41/09;H01L41/113;B41J2/14;C01G23/00;C01G29/00;C23C14/02;C23C14/08;G01C19/5607
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種壓電體膜，其特征在于：

具備具有(111)取向的(Na_xBi_y)TiO_0.5x+1.5y+2－BaTiO₃層，其中0.30≤x≤0.46，0.51≤y≤0.62。

2.如權(quán)利要求1所述的壓電體膜，其特征在于：

還具備具有(111)取向的第一電極，

所述第一電極和所述(Na_xBi_y)TiO_0.5x+1.5y+2－BaTiO₃層層疊。

3.如權(quán)利要求2所述的壓電體膜，其特征在于：

所述第一電極由金屬構(gòu)成。

4.如權(quán)利要求3所述的壓電體膜，其特征在于：

所述金屬是鉑、鈀或金。

5.如權(quán)利要求4所述的壓電體膜，其特征在于：

所述金屬是鉑。

6.如權(quán)利要求1所述的壓電體膜，其特征在于：

所述(Na_xBi_y)TiO_0.5x+1.5y+2－BaTiO₃層含有Mn。

7.一種噴墨頭，其特征在于，包括：

壓電體膜，其具有被第一電極和第二電極夾著的壓電體層；

與所述壓電體膜接合的振動(dòng)層；和

壓力室部件，其具有收納墨水的壓力室，并且與所述振動(dòng)層的與所述壓電體膜所接合的面相反一側(cè)的面接合，

所述振動(dòng)層與所述壓電體膜接合，使得所述振動(dòng)層響應(yīng)基于壓電效應(yīng)的所述壓電體膜的變形而在該振動(dòng)層的膜厚方向上位移，

所述振動(dòng)層和所述壓力室部件相互接合，使得所述壓力室的容積響應(yīng)所述振動(dòng)層的位移而變化，并且所述壓力室內(nèi)的墨水響應(yīng)所述壓力室的容積的變化而被排出，

所述壓電體層是具有(111)取向的(Na_xBi_y)TiO_0.5x+1.5y+2－BaTiO₃層，其中x表示0.30以上0.46以下，y表示0.51以上0.62以下。

8.如權(quán)利要求7所述的噴墨頭，其特征在于：

所述第一電極具有(111)取向，

所述第一電極和所述(Na_xBi_y)TiO_0.5x+1.5y+2－BaTiO₃層層疊。

9.如權(quán)利要求8所述的噴墨頭，其特征在于：

所述第一電極由金屬構(gòu)成。

10.如權(quán)利要求9所述的噴墨頭，其特征在于：

所述金屬是鉑、鈀或金。

11.如權(quán)利要求10所述的噴墨頭，其特征在于：

所述金屬是鉑。

12.如權(quán)利要求7所述的噴墨頭，其特征在于：

所述(Na_xBi_y)TiO_0.5x+1.5y+2－BaTiO₃層含有Mn。