[發明專利]具有正交耦合器的等離子體供應裝置

無效

• 申請號: 201180013383.0
• 申請日: 2011-03-11
• 公開（公告）號: CN102792589A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: A·拉班茨
• 申請（專利權）人: 許廷格電子兩合公司
• 主分類號: H03H7/48
• 分類號: H03H7/48
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 舒雄文;蹇煒

1.用于向等離子體負載供應功率的等離子體供應裝置，所述等離子體供應裝置具有至少一個正交耦合器，所述至少一個正交耦合器具有至少一個電容和至少一個電感并且適合用于將相對于彼此相移90°的相同頻率的兩個HF功率信號耦合到一起，分別在所述正交耦合器的第一有用信號連接部和第二有用信號連接部處作為有用信號供應HF功率信號，以形成能夠在第三有用信號連接部處作為有用信號輸出的耦合HF功率，至少一個有用信號連接部配置為用于第一阻抗，其特征在于所述至少一個正交耦合器具有配置為用于比所述第一阻抗高的第二阻抗的第四有用信號連接部，或其特征在于所述至少一個正交耦合器（150，250，260，290，610，620，710）僅具有三個有用信號連接部（1，2，3，251-253，261-263，291-293，611-613，621-623，711-713）。

2.根據權利要求1所述的等離子體供應裝置，其特征在于，所述第二阻抗是所述第一阻抗的至少四倍，優選地至少十倍。

3.根據權利要求1所述的等離子體供應裝置，其特征在于，所述正交耦合器的所述第四有用信號連接部配置為用于接近零的導納。

4.根據前述權利要求中的任一項所述的等離子體供應裝置，其特征在于，所述正交耦合器（150，250，260，290，610，620，710）僅具有一個電容（C）和一個電感（L）。

5.根據前述權利要求中的任一項所述的等離子體供應裝置，其特征在于，所述正交耦合器（150，250，260，290，610，620，710）的至少一個電感（L）包括平面線圈。

6.根據權利要求5所述的等離子體供應裝置，其中，所述電感（L）包括電路板（151）上的至少一個印制導體（152）。

7.根據前述權利要求中的任一項所述的等離子體供應裝置，其特征在于，磁場放大元件與至少一個電感關聯。

8.根據前述權利要求中的任一項所述的等離子體供應裝置，其特征在于，所述正交耦合器（150）的至少一個電容（C）包括平面結構。

9.根據權利要求8所述的等離子體供應裝置，其中，所述電容（C）包括電路板（151）上的平面結構。

10.根據前述權利要求中的任一項所述的等離子體供應裝置，其中，至少一個電感（L）和至少一個電容（C）包括布置在公共電路板（151）上的平面結構。

11.根據前述權利要求中的任一項所述的等離子體供應裝置，其特征在于，所述正交耦合器（150，250，260，290，610，620，710）的電容（C）的電抗等于所述正交耦合器（150，250，260，290，610，620，710）的電感（L）的負電抗。

12.根據前述權利要求中的任一項所述的等離子體供應裝置，其特征在于所述正交耦合器（150，250，260，290，610，620，710）的電感的電抗為并且其特征在于所述正交耦合器（150，250，260，290，610，620，710）的電容的電抗為

13.根據前述權利要求中的任一項所述的等離子體供應裝置，其特征在于，阻抗匹配高頻源（810-840）分別連接至兩個有用信號連接部（611，612，621，622）。

14.根據權利要求13所述的等離子體供應裝置，其特征在于，所述阻抗匹配高頻源（810-840）分別包括具有四個有用信號連接部（511-514，521-524，531-534，541-544）、兩個附加高頻源（410-480）和端接電阻器（811，821，831，841）的第二正交耦合器（510，520，530，540），所述第二正交耦合器（510，520，530，540）的兩個有用信號連接部（511，512，521，522，531，532，541，542）分別連接至所述附加高頻源（410-480）之一，所述第二正交耦合器（510，520，530，540）的所述第三有用信號連接部（513，523，533，543）分別連接至所述第一正交耦合器（610，620）的一個有用信號連接部（511，612，621，622），并且所述第二正交耦合器（510，520，530，540）的所述第四有用信號連接部（514，524，534，544）連接至所述端接電阻器（811，821，831，841）。