[發明專利]紫外線氧化和超純水制造的裝置及方法

無效

• 申請號: 201180010590.0
• 申請日: 2011-02-07
• 公開（公告）號: CN102791636A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 大谷慎一郎;山岡裕幸;原田義勝;藤井輝昭;須原貞義;陶山宏一郎
• 申請（專利權）人: 宇部興產株式會社
• 主分類號: C02F1/32
• 分類號: C02F1/32;B01D53/86;B01D61/14;B01J35/02;C02F1/20;C02F1/42;C02F1/44;C02F1/72;C02F9/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種紫外線氧化裝置，其具備有：

流動槽，使被處理水單向流動；

光催化劑纖維，以被處理水可通過方式配置于該流動槽內；

紫外線照射部，可照射紫外線；以及

紫外線照射部收容部，設置于與該流動槽內的被處理水的流動方向交叉的面的整個區域，且收容該紫外線照射部；

該紫外線照射部收容部形成為：使被處理水從上游側朝所收容的紫外線照射部流入該收容部內，使其于該收容部內流動后，往下游側流出，且該紫外線照射部收容部由可使來自紫外線照射部的紫外線照射于該光催化劑纖維的材料所構成。

2.根據權利要求1所述的紫外線氧化裝置，其中，該紫外線照射部收容部具備有收容紫外線照射部的內管、及覆蓋該內管的外管。

3.根據權利要求2所述的紫外線氧化裝置，其中，該內管與外管的直徑方向的間隔為1～10mm。

4.根據權利要求2或3所述的紫外線氧化裝置，其中，該內管與外管由可透射180～190nm與250～260nm的波長的紫外線的材料所構成。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的紫外線氧化裝置，其中，該紫外線照射部構成為可照射分別于180～190nm與250～260nm具有峰值波長的紫外線。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的紫外線氧化裝置，其中，該紫外線照射部形成長條狀，該光催化劑纖維形成平板狀，該紫外線照射部的長邊方向與該光催化劑纖維的平面方向被設定成為平行。

7.一種超純水制造裝置，其具備有：

逆滲透膜裝置，用于除去被處理水中的雜質；

離子交換裝置，設置于該逆滲透膜裝置的下游，用于除去經該逆滲透膜裝置除去雜質的被處理水中的離子成分；

權利要求1至6中任一項的紫外線氧化裝置，設置于該離子交換裝置的下游，用于分解經該離子交換裝置除去離子成分的被處理水中的有機物成分；

混合床離子交換裝置，設置于該紫外線氧化裝置的下游，用于除去該紫外線氧化裝置分解有機物成分而產生于被處理水中的離子成分；以及

超過濾裝置，設置于該混合床離子交換裝置的下游，用于除去因該逆滲透膜裝置以后的處理而產生于被處理水中的粒狀物。

8.根據權利要求7所述的超純水制造裝置，其進一步具備有除氣裝置，被設置于該超過濾裝置的上游側，用于除去被處理水中的氣體。

9.根據權利要求8所述的超純水制造裝置，其中，該除氣裝置至少設置于該逆滲透膜裝置與離子交換裝置之間及該離子交換裝置與該超過濾裝置之間。

10.一種紫外線氧化方法，對流動于流動槽內的被處理水中所含的有機物進行氧化分解處理，該流動槽具有：可通過被處理水的光催化劑纖維、可照射紫外線的紫外線照射部、及收容該紫外線照射部且被處理水可在內部流動的紫外線照射部收容部；該紫外線氧化方法具備下述步驟：

在使該紫外線照射部的紫外線照射于該光催化劑纖維的狀態下，使被處理水通過該光催化劑纖維的步驟；及

在使該紫外線照射部的紫外線照射于被處理水的狀態下，使被處理水流動于該紫外線照射部收容部內的步驟。

11.一種超純水制造方法，其具備有：

雜質除去步驟，用于除去被處理水中的雜質；

第一離子成分除去步驟，用于除去經該雜質除去步驟處理過的被處理水中的離子成分；

有機物成分分解步驟，是通過權利要求10所述的紫外線氧化方法，將經該第一離子除去步驟處理過的被處理水中的有機物成分加以分解；

第二離子成分除去步驟，用于除去因該有機物成分分解步驟而產生于被處理水中的離子成分；及

粒狀物質除去步驟，用于除去該雜質除去步驟以后產生于被處理水中的粒狀物質。