[發明專利]在處理室內對至少一個工件實施碳氮共滲的方法

有效

• 申請號: 201180009610.2
• 申請日: 2011-01-03
• 公開（公告）號: CN102762760A
• 公開（公告）日: 2012-10-31
• 發明（設計）人: J·施瓦策爾;L·豪吉馬希;T·瓦爾登邁爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: C23C8/30
• 分類號: C23C8/30;C23C8/32;C23C8/34
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 李振東;過曉東

1.用于在處理室（16）內對至少一個工件（12）實施碳氮共滲的方法，其中將至少一種工藝氣體（28；30）導入處理室（16）中，其特征在于，檢測在處理室（16）內產生的氣氛（46）中的氫含量（44），并且通過導入的工藝氣體（28；30）的量的影響使其至少暫時地保持在所期望的范圍（55；57）內。

2.根據權利要求1的方法，其特征在于，調節被引入處理室（16）中的工藝氣體（28；30）的流量。

3.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，所述工藝氣體包括碳供體氣體（28）。

4.根據權利要求3的方法，其特征在于，所述碳供體氣體（28）包括選自以下組中的化合物：乙炔、乙烯、丙烷、丙烯、甲烷、環己烷、環戊烷或其混合物。

5.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，所述工藝氣體包括氮供體氣體（30）。

6.根據權利要求5的方法，其特征在于，所述氮供體氣體（30）包括選自以下組中的化合物：氨氣、氮氣或其混合物。

7.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，利用至少兩種化學上不同的工藝氣體（28；30）依次對工件（12）實施化學作用，并且在氣態工藝階段（D；C）之間對處理室（16）至少部分地抽真空。

8.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，利用至少兩種化學上不同的工藝氣體（28；30）依次對工件（12）實施化學作用，并且在氣態工藝階段（D；C）之間用惰性氣體對處理室（16）進行吹洗。

9.根據權利要求7或8的方法，其特征在于，在所檢測的所述氣氛（46）的氫含量（44）不超過預先給定的閾值（45）時結束抽真空或吹洗。

10.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，利用相同種類的工藝氣體（28；30）實施兩個工藝階段，并且在這兩個工藝階段之間抽真空或者進行吹洗。

11.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，利用相同種類的工藝氣體（28；30）實施兩個工藝階段，并且在這兩個工藝階段之間不將工藝氣體送入處理室（16），并且不抽真空也不進行吹洗。

12.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，給處理室（16）、工藝氣體（28；30）和/或所述氣氛（46）供熱。

13.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，處理溫度（T）在750℃至1050℃的范圍內。

14.根據前述權利要求之一的方法，其特征在于，降低碳供體氣體（28）的流量，從而減少或避免在處理室（16）的氣氛（46）內形成炭黑。

15.用于對一個或多個工件（12）實施碳氮共滲的處理室（16），其特征在于，其包括至少一個用于引入供體氣體的可調節的入口（20，22）、用于排出氣體或氣體組合物的出口（40）以及用于測定氫含量（44）的傳感器（36）。

16.用于對一個或多個工件（12）實施碳氮共滲的處理室（16）的控制裝置和/或調節裝置（38），其特征在于，對其進行編程以應用于根據權利要求1至14之一的方法。