[發(fā)明專利]用于借助于偏折術(shù)進(jìn)行表面檢查的方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201180008704.8
• 申請(qǐng)日: 2011-01-18
• 公開（公告）號(hào): CN102741649A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A.博內(nèi)姆伯格;R.辛克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/25
• 分類號(hào): G01B11/25;G01N21/55;G01N21/88
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 杜荔南;盧江

1.根據(jù)偏轉(zhuǎn)術(shù)的原理對(duì)受測(cè)物（11）進(jìn)行表面檢查的方法，其中至少一個(gè)觀測(cè)設(shè)備記錄發(fā)出電磁輻射的照射設(shè)備的反射圖像，其中所述照射設(shè)備的反射圖像在受測(cè)物（11）的表面處產(chǎn)生，并且其中從反射圖像的形式中確定所述受測(cè)物的表面的斜度，其特征在于，作為照射設(shè)備使用具有能夠在顏色空間中預(yù)先給定的一個(gè)或多個(gè)顏色調(diào)制（20）的照射面，并且作為觀測(cè)設(shè)備使用至少一個(gè)彩色線掃描相機(jī)（13），其中利用彩色線掃描相機(jī)（13）同時(shí)地和像素精確地檢測(cè)一個(gè)或多個(gè)經(jīng)有色編碼的圖像數(shù)據(jù)（31），并且從顏色信息中導(dǎo)出關(guān)于每個(gè)像素的表面斜度的信息以及從其強(qiáng)度中導(dǎo)出關(guān)于每個(gè)像素的表面紋理的信息。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，由所述照射設(shè)備發(fā)射可見光譜范圍中的電磁輻射。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，借助于校準(zhǔn)為經(jīng)有色編碼的圖像數(shù)據(jù)（31）的每個(gè)色值分配受測(cè)物（11）的表面的斜度值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，唯一地預(yù)先給定照射面（12）的顏色調(diào)制（20）并且將該顏色調(diào)制（20）與相應(yīng)的測(cè)量任務(wù)相匹配。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的方法，其特征在于，對(duì)于照射源（12）的顏色調(diào)制（20）使用各個(gè)RGB顏色通道的其相位分別偏移120o的余弦調(diào)制。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5之一所述的方法，其特征在于，對(duì)于照射源（12）的顏色調(diào)制（20）使用水平和垂直調(diào)制的疊加。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的方法，其特征在于，對(duì)于照射源（12）的顏色調(diào)制（20）使用高頻和低頻調(diào)制的疊加。

8.將根據(jù)權(quán)利要求1至7之一所述的方法用于對(duì)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的受測(cè)物（11）進(jìn)行表面檢查的應(yīng)用，其中受測(cè)物（11）被旋轉(zhuǎn)并且被彩色線掃描相機(jī)（13）掃描。

9.根據(jù)偏轉(zhuǎn)術(shù)的原理對(duì)受測(cè)物（11）進(jìn)行表面檢查的檢查裝置（10），所述檢查裝置（10）具有至少一個(gè)觀測(cè)設(shè)備和至少一個(gè)照射設(shè)備，利用其能夠檢測(cè)所述照射設(shè)備的反射圖像，所述反射圖像在受測(cè)物（11）的表面處產(chǎn)生，并且其中在分析單元中能夠從反射圖像的形式導(dǎo)出所述受測(cè)物的表面的斜度，其特征在于，所述照射設(shè)備被構(gòu)造成具有能夠在顏色空間中預(yù)先給定的一個(gè)或多個(gè)顏色調(diào)制（20）的照射面（12），并且所述觀測(cè)設(shè)備具有至少一個(gè)彩色線掃描相機(jī)（13），利用該彩色線掃描相機(jī)（13）能同時(shí)地和像素精確地檢測(cè)一個(gè)或多個(gè)經(jīng)有色編碼的圖像數(shù)據(jù)（31），并且在所述分析單元內(nèi)，從顏色信息中能夠?qū)С鲫P(guān)于每個(gè)像素的表面斜度的信息，并且從其強(qiáng)度中能夠?qū)С鲫P(guān)于每個(gè)像素的表面紋理的信息。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，利用所述照射設(shè)備能發(fā)射可見光譜范圍中的光。