[發明專利]有機發光元件的制造方法、有機發光元件、有機顯示裝置、有機發光裝置、功能層的形成方法、功能性部件、顯示裝置以及發光裝置

有效

• 申請號: 201180007455.0
• 申請日: 2011-09-28
• 公開（公告）號: CN103141158A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 川浪悠子;石野真一郎;桝田知樹;南野裕隆;松末哲征
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/22
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 段承恩;徐健

技術領域

本發明涉及有機發光元件的制造方法、有機發光元件、有機顯示裝置、有機發光裝置、功能層的形成方法、功能性部件、顯示裝置以及發光裝置。

背景技術

近年來，正在研究、開發的有機發光元件，是利用有機材料的電致發光現象的發光元件，具有在陽極和陰極之間介有發光層的構造。

通常，通過由絕緣材料形成的堤（bank）按各元件對有機發光元件的發光層進行了分隔，通過該堤規定了發光層的形狀。另外，在陽極和發光層之間，例如根據需要插入有空穴注入層、空穴輸送層或空穴注入兼輸送層，在陰極和發光層之間，根據需要插入有電子注入層、電子輸送層或電子注入兼輸送層。發光層、空穴注入層、空穴輸送層、空穴注入兼輸送層、電子注入層、電子輸送層以及電子注入兼輸送層各自起到發光、電荷的注入和輸送的固有功能，因此將這些層總稱為“功能層”。

在全色顯示的有機顯示裝置中，這樣的有機發光元件相當于RGB（紅綠藍）各色的子像素，相鄰的RGB的子像素組合而形成一個像素，這些像素排列成矩陣狀而形成圖像顯示區域。

在這樣的有機顯示裝置中，為了獲得高精細的圖像，要求以500μm程度以下的微小尺寸形成各像素的一邊邊長。在這樣的像素尺寸微小的裝置中，各元件中的功能層的膜厚也需要設定為較薄的數十～數百nm。

并且，在制造有機顯示裝置時，具有在基板上形成功能層的工序。在該功能層形成工序中，雖然也使用通過真空工藝使低分子材料成膜的方式，但大多會使用通過噴墨法（液滴噴出法）等將墨（涂敷液）填充于堤之間并使所填充的墨干燥的濕法方式，所述墨是將用于形成功能層的功能性材料溶解于溶劑而得到的。根據濕法方式，在大型面板中也能夠比較容易地形成功能層。

現有技術文獻

專利文件1：日本特開2007-69140號公報

專利文件2：日本特開平5-163488號公報

專利文件3：日本特開2006-219663號公報

發明內容

發明要解決的問題

但是，有機發光元件的發光特性對功能層的膜厚敏感，因此以濕法方式形成功能層時，要求在各元件內消除功能層的膜厚不勻、平坦地形成功能層。但是，如上所述，當通過在基板上的堤之間的各元件預定形成區域填充墨并使其干燥的方法形成功能層時，在所述區域內，區域端部的膜厚會比區域中央部的膜厚厚，難以確保膜厚的平坦性。認為其理由如下：在從填充于堤之間的貯液部（液溜り）蒸發溶劑時，與中央部相比，端部的溶劑更容易蒸發，因此在貯液部中墨在從中央部向端部流動的同時進行干燥。

針對這樣的問題，例如在專利文件1中公開了如下技術：作為墨的溶劑而使用混合溶劑（例如乙二醇（ethylene?glycol）和水的混合溶劑），在使墨液滴膜干燥時，在一種溶劑（水）的飽和蒸氣壓停止減壓，由此使功能層的平坦性提高。但是，雖然在像素尺寸較大的情況下能夠期待通過該干燥方法來提高功能層的平坦性，但是在像素尺寸為一邊為數百μm以下的微小尺寸的情況下、或者要形成的功能層的膜厚為較小的數十～數百nm級別的情況下，在從大氣壓開始減壓直到達到停止壓力的期間，溶劑會一直蒸發，因此難以確保功能層膜厚的平坦性。

本發明是鑒于上述問題而完成的發明，目的在于提供一種在通過濕式法形成有機發光元件的功能層時，能夠形成平坦性良好的功能層的有機發光元件的制造方法、有機發光元件、有機顯示裝置、有機發光裝置、功能層的形成方法、功能性部件、顯示裝置以及發光裝置。

用于解決問題的手段