[發明專利]基板收納裝置

無效

• 申請號: 201180006564.0
• 申請日: 2011-02-21
• 公開（公告）號: CN102714169A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 守屋剛
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于，

該基板收納裝置包括：

供氣部，其用于將外部空氣引入到上述基板收納裝置內；

排氣部，其與上述供氣部相對配置；

基板載置板，其設在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部之間連通的連通孔；

供氣過濾器，其設在上述供氣部；

鼓風機，其設在上述供氣部或上述排氣部，

該基板收納裝置裝卸自如地設有狀態傳感器、微粒帶電裝置和調溫裝置中的任一個或裝卸自如地設有狀態傳感器、微粒帶電裝置和調溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態傳感器用于檢測上述基板收納裝置內的狀態。

2.根據權利要求1所述的基板收納裝置，其特征在于，

上述狀態傳感器是溫度傳感器、帶電傳感器、微粒傳感器、振動傳感器和氣體傳感器中的任一個或是溫度傳感器、帶電傳感器、微粒傳感器、振動傳感器和氣體傳感器中的兩個以上的組合。

3.根據權利要求2所述的基板收納裝置，其特征在于，

該基板收納裝置設有：

存儲部，其用于存儲上述狀態傳感器的輸出；

控制部，其判定被存儲在上述存儲部的上述狀態傳感器的輸出是否大于規定的閾值。

4.根據權利要求1～3中任意一項所述的基板收納裝置，其特征在于，

具有以包覆上述基板收納裝置的方式收納上述基板收納裝置的外側容器，

在上述基板收納裝置與上述外側容器之間形成有使來自上述排氣部的排氣返回到上述供氣部的循環通路。

5.根據權利要求4所述的基板收納裝置，其特征在于，

在上述基板收納裝置與上述外側容器之間設有隔振件，將上述隔振件之間的空間作為上述循環通路。

6.根據權利要求4所述的基板收納裝置，其特征在于，

在上述基板收納裝置的外側或上述外側容器的外側設有隔振件。

7.根據權利要求6所述的基板收納裝置，其特征在于，

在上述供氣部與上述排氣部之間裝卸自如地設有側板。

8.一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于，

該基板收納裝置包括：

供氣部，其設有向上述基板收納裝置內導入吹掃氣體的導入部；

排氣部，其與上述供氣部相對配置；

基板載置板，其設在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部之間連通的連通孔；

鼓風機，其設在上述供氣部或上述排氣部，

該基板收納裝置裝卸自如地設有狀態傳感器、微粒帶電裝置和調溫裝置中的任一個或裝卸自如地設有狀態傳感器、微粒帶電裝置和調溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態傳感器用于檢測上述基板收納裝置內的狀態。

9.一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于，

該基板收納裝置包括：

供氣部，其用于向上述基板收納裝置內引入外部空氣；

排氣部，其與上述供氣部相對配置；

基板載置板，其設在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部之間連通的連通孔；

鼓風機，其設在上述供氣部或上述排氣部，

該基板收納裝置裝卸自如地設有狀態傳感器、微粒帶電裝置和調溫裝置中的任一個或裝卸自如地設有狀態傳感器、微粒帶電裝置和調溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態傳感器用于檢測上述基板收納裝置內的狀態，

上述排氣部與上述供氣部之間對外開口。

10.根據權利要求9所述的基板收納裝置，其特征在于，

該基板收納裝置具有以包覆上述基板收納裝置的方式收納上述基板收納裝置的外側容器，

在上述外側容器上，設有用于封閉上述排氣部與上述供氣部之間的開口的封閉板，

在上述基板收納裝置與上述外側容器之間形成有使來自上述排氣部的排氣返回到上述供氣部的循環通路。

11.根據權利要求10所述的基板收納裝置，其特征在于，

在上述基板收納裝置與上述外側容器之間設有隔振件，并且將上述隔振件之間的空間作為上述循環通路。

12.根據權利要求10所述的基板收納裝置，其特征在于，

在上述基板收納裝置的外側或上述外側容器的外側設有隔振件。