[實(shí)用新型]一種用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120574479.1
• 申請(qǐng)日: 2011-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN202384382U
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 冉祖輝;韓小旭;劉莉莉;董剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 保定天威英利新能源有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長(zhǎng)明

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及新能源加工技術(shù)領(lǐng)域，更具體的涉及一種用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置。

背景技術(shù)

隨著傳統(tǒng)能源的不斷減少，新能源已逐漸成為各國(guó)能源戰(zhàn)略的主流，其中，光伏產(chǎn)業(yè)在新能源中占據(jù)著重要地位。

在常規(guī)的多晶硅太陽(yáng)能電池的主要生產(chǎn)步驟包括制絨、擴(kuò)散、周邊刻蝕、PECVD(Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)、印刷測(cè)試等步驟。

其中，擴(kuò)散是制作太陽(yáng)能電池PN結(jié)的關(guān)鍵步驟，擴(kuò)散后硅片的正面和背面對(duì)太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換率具有較大影響，通常情況下以擴(kuò)散后硅片的正面作為PECVD鍍膜面。

擴(kuò)散工藝中，需應(yīng)用裝卸載機(jī)械手將制絨后的硅片從載片盒中裝載到擴(kuò)散所用的石英舟中，待擴(kuò)散工藝結(jié)束后，再將石英舟內(nèi)擴(kuò)散后形成的太陽(yáng)能電池半成品卸載到載片盒，以進(jìn)行下一個(gè)環(huán)節(jié)的加工。

裝卸載過(guò)程中，載片盒的正反面是通過(guò)如下方式進(jìn)行識(shí)別的。請(qǐng)參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

感應(yīng)器01設(shè)置于載片盒02的背面，即感應(yīng)器01設(shè)置于載片盒02沒有設(shè)置孔洞的一側(cè)，感應(yīng)器01發(fā)出的感應(yīng)光束照射于載片盒02的背面，感應(yīng)光束被載片盒02的背面擋住，感應(yīng)器01感應(yīng)正常，設(shè)備繼續(xù)運(yùn)行。

當(dāng)載片盒02放反后，即載片盒02帶有孔洞03的一側(cè)與感應(yīng)器01相對(duì)應(yīng)時(shí)，感應(yīng)器01發(fā)出的感應(yīng)光束恰好照射于孔洞03內(nèi)部，感應(yīng)器01報(bào)警，設(shè)備停止動(dòng)作。

然而，現(xiàn)有技術(shù)中，載片盒02上的孔洞03的直徑較小，當(dāng)載片盒02發(fā)生變形或其擺放位置不當(dāng)時(shí)，即使載片盒02放反，感應(yīng)器01發(fā)出的光束也不能照射于載片盒02的孔洞03內(nèi)，此時(shí)，感應(yīng)器01誤判為載片盒02放置正確，進(jìn)而導(dǎo)致太陽(yáng)能電池的廢品率較高的問(wèn)題。

因此，如何避免因感應(yīng)器發(fā)生誤判，導(dǎo)致太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中廢品率較高的問(wèn)題，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員所要解決的重要技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置，其能夠有效規(guī)避因感應(yīng)器發(fā)生誤判，而導(dǎo)致的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中廢品率較高的問(wèn)題。

本實(shí)用新型提供的一種用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置，包括感應(yīng)器，所述感應(yīng)器設(shè)置于載片盒的正面一側(cè)，且所述感應(yīng)器發(fā)出的感應(yīng)光束照射于所述載片盒的正面的孔洞內(nèi)。

優(yōu)選地，所述感應(yīng)器通過(guò)支架固定設(shè)置于所述載片盒的正面一側(cè)。

本實(shí)用新型提供的一種用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置，包括感應(yīng)器，所述感應(yīng)器設(shè)置于載片盒的正面一側(cè)，且所述感應(yīng)器發(fā)出的感應(yīng)光束照射于所述載片盒的正面的孔洞內(nèi)。需要說(shuō)明的是，感應(yīng)器設(shè)置于載片盒的正面?zhèn)龋袘?yīng)器發(fā)出的光束照射于載片盒的正面的孔洞內(nèi)時(shí)，感應(yīng)器感應(yīng)正常，設(shè)備繼續(xù)運(yùn)行。當(dāng)載片盒位置放反時(shí)，感應(yīng)器發(fā)出的光束不能照射于載片盒正面的孔洞內(nèi)，感應(yīng)器報(bào)警，設(shè)備停止運(yùn)行。

如此設(shè)置，即使因載片盒發(fā)生變形或載片盒位置擺放不當(dāng)，而造成感應(yīng)器報(bào)警，工作人員也可通過(guò)檢查發(fā)現(xiàn)載片盒擺放正確，進(jìn)而通過(guò)調(diào)整載片盒的位置，使得感應(yīng)器的感應(yīng)光束照射于載片盒的孔洞內(nèi)，使得設(shè)備繼續(xù)運(yùn)行。

因此，本實(shí)用新型提供的用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置，其能夠有效規(guī)避因感應(yīng)器發(fā)生誤判，而導(dǎo)致的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中廢品率較高的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施方式中用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型提供了一種用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置，其能夠有效規(guī)避因感應(yīng)器發(fā)生誤判，而導(dǎo)致的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中廢品率較高的問(wèn)題。

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參考圖2，圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施方式中用于太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備的載片盒放反識(shí)別裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。