[實用新型]一種板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120572593.0
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN202423358U
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉曉平;陳平
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫市奧曼特科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677;C23C16/44
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32227
• 代理人: 顧吉云

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及太陽能硅片PECVD加工設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺。

背景技術(shù)

板式PECVD設(shè)備的進(jìn)料口與出料口分別位于設(shè)備的兩端，以往分別需要在進(jìn)料口側(cè)與出料口側(cè)設(shè)置相應(yīng)的硅片上料機(jī)構(gòu)和硅片下料機(jī)構(gòu)，其設(shè)備占用空間大、設(shè)備成本高，且硅片的上下料效率低，為此目前的自動上下料系統(tǒng)為了能達(dá)到縮小設(shè)備占用空間、降低設(shè)備成本、并提高硅片上下料效率將整個硅片上料機(jī)構(gòu)與下料機(jī)構(gòu)集成設(shè)置于PECVD設(shè)備的進(jìn)料口側(cè)，這就需要提供一個輸送承載平臺，其既能實現(xiàn)出片碳板的水平輸送，又能提供對出片碳板的可靠夾緊定位、以及對碳板上硅片的承載，保證上下料系統(tǒng)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)能夠可靠、快速搬運(yùn)硅片，提高硅片上、下料的效率。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述問題，本實用新型提供了一種板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺，其能起到有效的碳板承載輸送作用，并為硅片的轉(zhuǎn)送搬運(yùn)提供可靠的碳板夾緊定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自動上下料的效率。

其技術(shù)方案是這樣的，其特征在于：其整體安裝于板式PECVD設(shè)備的進(jìn)料口側(cè)以及碳板升降臺之間，其包括支架、水平輸送機(jī)構(gòu)、壓緊定位機(jī)構(gòu)、頂升機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)，所述支架的安裝方向與PECVD硅片進(jìn)料方向垂直，所述水平輸送機(jī)構(gòu)安裝于所述支架，所述壓緊定位機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)分別安裝于所述水平輸送機(jī)構(gòu)的縱向兩端，所述頂升機(jī)構(gòu)通過固定板安裝于所述支架。

其進(jìn)一步特征在于：所述水平輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動軸、主動輸送輪和從動輸送輪，所述電機(jī)通過電機(jī)支架固定于輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動軸的縱向兩端通過軸承座一固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的橫向支架，所述電機(jī)與所述傳動軸通過同步帶輪傳動連接，所述傳動軸的縱向兩端均通過所述軸承座一安裝有一個所述主動輸送輪，所述兩側(cè)橫向支架上均分別通過軸承座二安裝有兩個所述主動輸送輪與兩個從動輸送輪，所述主動輸送輪與從動輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述橫向支架，單側(cè)所述橫向支架上、相鄰兩個所述主動輸送輪之間通過傳送帶傳動連接；

所述壓緊定位機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個，分別通過安裝板一安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架進(jìn)料側(cè)的縱向支架兩端；所述安裝板一下部固定有橫向氣動滑臺一，所述橫向氣動滑臺一通過連接板一連接豎向氣動滑臺一，所述豎向氣動滑臺一的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過導(dǎo)桿一連接壓緊塊，所述導(dǎo)桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動滑臺一通過縱向連接板安裝有調(diào)節(jié)板一，所述調(diào)節(jié)板一的橫向前端安裝有定位輪一；

所述頂升機(jī)構(gòu)包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過連接板二固定于豎向氣動滑臺二，所述豎向氣動滑臺二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述豎向氣動滑臺二側(cè)面安裝有直線軸承導(dǎo)軌，所述直線軸承導(dǎo)軌上安裝有導(dǎo)桿二，所述導(dǎo)桿二上端頂緊所述連接板二下部；

所述定位機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有兩個，分別通過安裝板二固定于所述輸送機(jī)機(jī)架出料側(cè)的縱向支架兩端；所述安裝板二下部固定有橫向氣動滑臺二，所述橫向氣動滑臺二通過連接板三與豎向氣動滑臺三連接，所述豎向氣動滑臺三上端通過連接塊與調(diào)節(jié)板二，所述調(diào)節(jié)板二的前端固定有定位輪二。

使用本實用新型的碳板輸送裝卸臺，其有益效果在于：其提供了一個可靠的承載輸送平臺，保證碳板以及放置于碳板上的硅片的輸送以及硅片的可靠搬運(yùn)，其中水平輸送機(jī)構(gòu)可以保證碳板的水平運(yùn)輸，壓緊定位機(jī)構(gòu)與定位機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑻及鍓壕o定位，而頂升機(jī)構(gòu)將放置于碳板上的硅片向上可靠頂起方便上下料系統(tǒng)的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行硅片的搬運(yùn)。

附圖說明

　　圖1為本實用新型碳板輸送裝卸臺安裝位置示意圖；

圖2為本實用新型碳板輸送裝卸臺結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型碳板輸送裝卸臺中的水平輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型碳板輸送裝卸臺的壓緊定位裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型碳板輸送裝卸臺的頂升機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實用新型碳板輸送裝卸臺的定位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式