[實用新型]一種共焦顯微系統三維掃描裝置有效
| 申請號： | 201120534175.2 | 申請日： | 2011-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN202372163U | 公開（公告）日： | 2012-08-08 |
| 發明（設計）人： | 楊召雷;董洪波;胡凱 | 申請（專利權）人： | 上海理工大學 |
| 主分類號： | G01B21/20 | 分類號： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 200093 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 顯微 系統 三維 掃描 裝置 | ||
1.一種共焦顯微系統三維掃描裝置，其特征在于，所述裝置包括：橫向掃描裝置、縱向掃描裝置；
所述橫向掃描裝置包括第一高精度位移臺、第二高精度位移臺，第一高精度位移臺、第二高精度位移臺互成90°疊加放置，實現橫向掃描；
所述縱向掃描裝置采用壓電陶瓷控制器驅動，以實現高精度掃描。
2.根據權利要求1所述的共焦顯微系統三維掃描裝置，其特征在于：
所述第一高精度位移臺、第二高精度位移臺之間設有第一連接件，第一高精度位移臺設置于第二高精度位移臺上方。
3.根據權利要求1所述的共焦顯微系統三維掃描裝置，其特征在于：
所述裝置進一步包括載物臺，所述載物臺設置于第一高精度位移臺上方、縱向掃描裝置下方。
4.根據權利要求3所述的共焦顯微系統三維掃描裝置，其特征在于：
所述第一高精度位移臺上方設有第二連接件，第二連接件上方設置升降臺，升降臺連接所述載物臺。
5.根據權利要求1所述的共焦顯微系統三維掃描裝置，其特征在于：
所述裝置進一步包括支架，支架底部設有底座，底座上方設置所述第二高精度位移臺；所述縱向掃描裝置設置于所述支架的頂部。
6.根據權利要求1所述的共焦顯微系統三維掃描裝置，其特征在于：
所述第一高精度位移臺、第二高精度位移臺、縱向掃描裝置分別設有控制器，用以控制第一高精度位移臺、第二高精度位移臺、縱向掃描裝置的移動；
所述裝置進一步包括計算機，各控制器通過串口連接計算機。
7.根據權利要求6所述的共焦顯微系統三維掃描裝置，其特征在于：
所述壓電陶瓷控制器通過GPIB接口與計算機相連。
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