[實用新型]生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置

有效

• 申請號: 201120534135.8
• 申請日: 2011-12-20
• 公開（公告）號: CN202450154U
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發明（設計）人: 張洪濤
• 申請（專利權）人: 河南省豫星華晶微鉆有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術領域】

本實用新型屬于金剛石材料制備技術領域，涉及化學氣相沉積法生產多晶金剛石膜的裝置，特別是一種配置耐高溫金屬絲的裝置。

【背景技術】

采用化學氣相沉積法在異質基底上生長出多晶金剛石薄膜，不但成本低，而且可沉積面積大，因此采用化學氣相沉積法生產多晶金剛石膜得到迅速發展。采用化學氣相沉積法在高溫環境內制備多晶金剛石膜，需在真空環境內的電極上裝配數根耐高溫金屬絲，耐高溫金屬絲在電流作用下產生熱能，但是耐高溫金屬絲在高溫環境下工作易產生形變，使工作參數不穩定，斷電時耐高溫金屬絲斷裂，重新工作時需更換耐高溫金屬絲，導致高溫金屬絲的重復利用率低，并且裝配費時，工作效率低，不能滿足大批量生產的要求。

【實用新型內容】

為解決上述問題，本實用新型提供一種裝配簡單、重復利用率高的生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置，主要由支架、第一電極、第二電極、耐高溫金屬絲組成，其特征在于：在第一電極、第二電極上設置有第一滑塊、第二滑塊，耐高溫金屬絲的兩端分別通過第一定位板、第二定位板固定在第一滑塊、第二滑塊上，調整第一牽引桿和第二牽引桿，使耐高溫金屬絲處于直線狀態。

前述第一滑塊放置在第一電極上，并通過第一拉緊桿將第一滑塊、第一電極與支架連接，第一拉緊桿下端伸出支架的部分有第一拉緊彈簧；第一滑塊左側有第一牽引板，第一牽引板下端通過第一螺栓與第一電極固定在一起，第一牽引板上端通過第一牽引桿與第一滑塊連接，第一牽引桿伸出第一牽引板的部分有第一牽引彈簧；第一滑塊右側上端有凹槽，凹槽內有第一定位板，耐高溫金屬絲的一端放置在第一定位板與凹槽之間的縫隙內通過第二螺栓壓緊第一定位板從而固定耐高溫金屬絲。

前述第二滑塊放置在第二電極上，并通過第二拉緊桿將第二滑塊、第二電極與支架連接，第二拉緊桿下端伸出支架的部分有第二拉緊彈簧；第二滑塊右側有第二牽引板，第二牽引板下端通過第三螺栓與第二電極固定在一起，第二牽引板上端通過第二牽引桿與第二滑塊連接，第二牽引桿伸出第二牽引板的部分有第二牽引彈簧；第二滑塊左側上端有凹槽，凹槽內有第二定位板，耐高溫金屬絲的一端放置在第二定位板與凹槽之間的縫隙內通過第四螺栓壓緊第二定位板從而固定耐高溫金屬絲。

采用上述技術方案，當耐高溫金屬絲受熱膨脹時，第一滑塊、第二滑塊分別向兩端外延輕微移動，從而使耐高溫金屬絲處于直線狀態，保證工作參數穩定；當斷電后耐高溫金屬絲收縮時，第一滑塊、第二滑塊分別向回輕微移動，仍然使耐高溫金屬絲處于直線狀態，且不易斷裂，保證能夠再次通電后工作，能夠實現耐高溫金屬絲的重復利用率高，重新工作時不需重新裝配耐高溫金屬絲，顯著提高工作效率。

【附圖說明】

圖1所示的是本實用新型的結構示意圖。

【具體實施方式】

下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示，一種生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置，主要由支架(12)、第一電極(5)、第二電極(18)、耐高溫金屬絲(11)組成，在第一電極(5)、第二電極(18)上設置有第一滑塊(6)、第二滑塊(17)，耐高溫金屬絲(11)的兩端分別通過第一定位板(9)、第二定位板(14)固定在第一滑塊(6)、第二滑塊(17)上。

第一滑塊(6)放置在第一電極(5)上，并通過第一拉緊桿(7)將第一滑塊(6)、第一電極(5)與支架(12)連接，第一拉緊桿(7)下端伸出支架(12)的部分有第一拉緊彈簧(10)；第一滑塊(6)左側有第一牽引板(2)，第一牽引板(2)下端通過第一螺栓(3)與第一電極(5)固定在一起，第一牽引板(2)上端通過第一牽引桿(4)與第一滑塊(6)連接，第一牽引桿(4)伸出第一牽引板(2)的部分有第一牽引彈簧(1)；第一滑塊(6)右側上端有凹槽，凹槽內有第一定位板(9)，耐高溫金屬絲(11)的一端放置在第一定位板(9)與凹槽之間的縫隙內通過第二螺栓(8)壓緊第一定位板(9)從而固定耐高溫金屬絲(11)。