[實用新型]一種用于直拉單晶爐熱場的加熱器有效
| 申請號： | 201120503128.1 | 申請日： | 2011-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN202430328U | 公開（公告）日： | 2012-09-12 |
| 發明（設計）人： | 方峰;鄧德輝;王學鋒;高朝陽;鄭沉 | 申請（專利權）人： | 有研半導體材料股份有限公司;國泰半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/14 | 分類號： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 100088 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 直拉單晶爐熱場 加熱器 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于直拉單晶爐熱場的加熱器，其特征在于：該加熱器為螺旋管狀結構的環形加熱器，該加熱器上設有三個連接柱，其中兩個連接柱位于該加熱器沿軸線方向的一端，第三個連接柱位于該加熱器沿軸線方向的另一端。
2.根據權利要求1所述的用于直拉單晶爐熱場的加熱器，其特征在于：所述加熱器的相鄰兩匝螺旋管之間設有強化結構。
3.根據權利要求2所述的用于直拉單晶爐熱場的加熱器，其特征在于：所述強化結構為絕緣支架。
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