[實(shí)用新型]一種用于化學(xué)氣相沉積的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120502732.2
• 申請日: 2011-12-06
• 公開（公告）號(hào): CN202369639U
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉汝強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 劉汝強(qiáng)
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37219
• 代理人: 呂利敏

1.一種用于化學(xué)氣相沉積的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置，其特征在于，包括外殼和加熱源，在外殼頂中部設(shè)置有盛放儲(chǔ)氣罐用的罐體槽，所述罐體槽與外殼封閉連接形成中空腔，在所述外殼頂部或側(cè)壁上部設(shè)置有進(jìn)水口，在外殼側(cè)壁上部設(shè)置溢水口，在所述外殼的側(cè)壁底部設(shè)置有出水口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置，其特征在于，所述的加熱源設(shè)置在所述外殼外部或所述中空腔內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置，其特征在于，所述的加熱源為電加熱器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置，其特征在于，所述的電熱器位于中空腔內(nèi)罐體槽底與外殼底之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置，其特征在于，所述的電加熱器為大功率電熱膜或大功率電熱絲。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置，其特征在于，在所述中空腔內(nèi)裝有液體介質(zhì)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置，其特征在于，所述的液體介質(zhì)為純凈水。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)氣罐水浴加熱裝置，其特征在于，所述的罐體槽與儲(chǔ)氣罐的外形相適應(yīng)。?