[實用新型]一種用于先洗磷后刻蝕清洗機濕刻蝕槽的抽風裝置有效
| 申請號： | 201120495384.0 | 申請日： | 2011-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN202395009U | 公開（公告）日： | 2012-08-22 |
| 發明（設計）人： | 張嘯潮 | 申請（專利權）人： | 百力達太陽能股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若瑩;柏子雵 |
| 地址： | 314512 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 先洗磷后 刻蝕 清洗 抽風 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于先洗磷后刻蝕清洗機濕刻蝕槽的抽風裝置，其特征在于：包括抽風管（4），在抽風管（4）上分布有抽風口（5），導流槽（6）位于抽風管（4）的下方，在抽風管（4）與導流槽（6）之間設有支撐架（7）。
2.如權利要求1所述的一種用于先洗磷后刻蝕清洗機濕刻蝕槽的抽風裝置，其特征在于：所述抽風管（4）位于硅片（2）上方，安裝方向垂直于硅片（2）的運行方向。
3.如權利要求1所述的一種用于先洗磷后刻蝕清洗機濕刻蝕槽的抽風裝置，其特征在于：所述抽風口（5）的開口方向平行于水平方向。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
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