[實用新型]一種真空退火爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120491317.1 | 申請日： | 2011-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN202430256U | 公開（公告）日： | 2012-09-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 徐松林 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京威途真空技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | C21D1/26 | 分類號： | C21D1/26;C21D1/773;C21D9/00 |
| 代理公司： | 廣州天河互易知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44294 | 代理人： | 尹箐 |
| 地址： | 210000 江蘇省南京*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 真空 退火爐 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種真空退火爐，其特征在于：
包括真空爐體、油擴散泵、第一真空擋板閥、第二真空擋板閥、第三真空擋板閥、空氣過濾器、第一真空泵、充氣閥、第二真空泵；
所述真空爐體連接在第一真空擋板閥的右側(cè)，所述第二真空擋板閥的右側(cè)連接第一真空擋板閥的左側(cè)，所述第一真空擋板閥的底端連接油擴散泵；
所述油擴散泵的左側(cè)連接第三真空擋板閥的底端；
所述第二真空擋板閥的底端連接空氣過濾器的右側(cè)；
所述空氣過濾器的底端同時連接第三真空擋板閥的左側(cè)和第一真空泵；
所述第一真空泵的左側(cè)連接充氣閥，所述充氣閥連接第二真空泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火爐，其特征在于：
所述充氣閥為電磁真空帶充氣閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火爐，其特征在于：
所述的第一真空泵為羅茨真空泵。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火爐，其也正在于：
所述的第二真空泵為旋片真空泵。
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