[實用新型]一種化學機械研磨裝置

有效

• 申請號: 201120473940.4
• 申請日: 2011-11-24
• 公開（公告）號: CN202367587U
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 陸銘;夏偉
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B08B3/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮;李辰

1.一種化學機械研磨裝置，包括研磨臺、研磨頭支架和沖洗裝置，所述研磨臺上設有多個研磨墊和一個研磨頭清洗及晶圓裝卸單元，該多個研磨墊和研磨頭清洗及晶圓裝卸單元循環排布在所屬研磨臺上，且相鄰的兩個研磨墊或相鄰的研磨墊與研磨頭清洗及晶圓裝卸單元之間設有間隔，所述研磨頭支架上設有多個研磨頭，該多個研磨頭以相對方向分別對應該多個研磨墊和研磨頭清洗及晶圓裝卸單元，其特征在于：所述沖洗裝置包括：多個出水噴頭，分別設置于所述間隔之中；供水管路，連接一外部水源和所述多個出水噴頭；多個氣閥，設置于所述供水管路上，并分別對應連接于該多個出水噴頭；以及調壓水閥，設置于所述供水管路上。

2.如權利要求1所述的化學機械研磨裝置，其特征在于：所述供水管路包括第一供水支路和第二供水支路，該第一供水支路獨立的向設置于研磨頭清洗及晶圓裝卸單元和一個研磨墊之間的出水噴頭供水，該第二供水支路向其余出水噴頭進行供水。

3.如權利要求2所述的化學機械研磨裝置，其特征在于：所述調壓水閥包括第一調壓水閥和第二調壓水閥，該第一調壓水閥連接在設置于第一供水支路上的氣閥和對應的出水噴頭之間，該第二調壓水閥連接在其余氣閥和外部水源之間。

4.如權利要求1所述的化學機械研磨裝置，其特征在于：所述多個研磨頭于研磨狀態下分別位于對應的研磨墊和研磨頭清洗及晶圓裝卸單元上方，于沖洗狀態下旋轉到所述間隔上方。