[實用新型]直驅(qū)固晶焊頭機(jī)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120469687.5 | 申請日: | 2011-11-23 |
| 公開(公告)號: | CN202332794U | 公開(公告)日: | 2012-07-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 梁國康;梁國城;唐軍成;盧炳昌;王燕 | 申請(專利權(quán))人: | 先進(jìn)光電器材(深圳)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/50;H01L21/677;F16H21/18 |
| 代理公司: | 深圳市博銳專利事務(wù)所 44275 | 代理人: | 張明 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 直驅(qū)固晶焊頭 機(jī)構(gòu) | ||
1.一種直驅(qū)固晶焊頭機(jī)構(gòu),包括固晶臂及用于驅(qū)動所述固晶臂的驅(qū)動機(jī)構(gòu),其特征在于,所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、基板、Z向電機(jī)、Z向電機(jī)座、偏心軸、連桿、直線導(dǎo)軌、交叉滾子導(dǎo)軌、Z向連接軸、軸座、交叉滾子導(dǎo)軌座、固晶臂座;
所述固晶臂固定安裝于所述固晶臂座上;
所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)固定于所述基板上,所述Z向電機(jī)固定于所述Z向電機(jī)座上,且所述Z向電機(jī)座固定于基板上;
交叉滾子導(dǎo)軌座固定連接旋轉(zhuǎn)電機(jī)的動力輸出軸,交叉滾子導(dǎo)軌安裝于所述交叉滾子導(dǎo)軌座上,且交叉滾子導(dǎo)軌的外軌與交叉滾子導(dǎo)軌座固定,交叉滾子導(dǎo)軌的內(nèi)軌固定連接所述固晶臂座;
所述偏心軸的一端連接Z向電機(jī)的動力輸出軸,偏心軸另一端連接連桿的一端,連桿的另一端固定連接軸座,軸座可滑動地安裝于所述直線導(dǎo)軌上,所述直線導(dǎo)軌固定于所述Z向電機(jī)座上;Z向連接軸的一端可旋轉(zhuǎn)地安裝于軸座中,另一端固定連接所述固晶臂座。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直驅(qū)固晶焊頭機(jī)構(gòu),其特征在于:
還包括用于感應(yīng)固晶臂旋轉(zhuǎn)運動的第一感應(yīng)片和用于將所述第一感應(yīng)片的感應(yīng)信號轉(zhuǎn)化為電信號并反饋給旋轉(zhuǎn)電機(jī)的第一傳感器,所述第一傳感器固定于所述基板上,所述第一感應(yīng)片固定于所述交叉滾子導(dǎo)軌座上,所述第一傳感器與所述第一感應(yīng)片適配。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直驅(qū)固晶焊頭機(jī)構(gòu),其特征在于:
還包括用于感應(yīng)固晶臂上下運動的第二感應(yīng)片和用于將所述第二感應(yīng)片的感應(yīng)信號轉(zhuǎn)化為電信號并反饋給所述Z向電機(jī)的第二傳感器,所述第二傳感器固定于所述Z向電機(jī)座上,所述第二感應(yīng)片固定于所述偏心軸上,所述第二傳感器與所述第二感應(yīng)片適配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的直驅(qū)固晶焊頭機(jī)構(gòu),其特征在于:
還包括聯(lián)軸器,所述聯(lián)軸器分別連接偏心軸和Z向電機(jī)的動力輸出軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的直驅(qū)固晶焊頭機(jī)構(gòu),其特征在于:
所述交叉滾子導(dǎo)軌座頂部設(shè)置有軸孔,所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的動力輸出軸固定于所述軸孔中。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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