[實用新型]一種XY平面運動工作臺

有效

• 申請號: 201120464165.6
• 申請日: 2011-11-21
• 公開（公告）號: CN202423365U
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: 李蔚然
• 申請（專利權）人: 深圳翠濤自動化設備股份有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所 44268
• 代理人: 劉文求;王永文

1.一種XY平面運動工作臺，其特征在于，包括：

一第三平臺；

在該第三平臺上設置一第一平臺和第二平臺，該第一平臺和第二平臺平行設置，都與該第三平臺垂直可滑動連接，所述第一平臺、第二平臺分別與第三平臺組成兩套可相對獨立工作的XY工作臺。

2.根據權利要求1所述的XY平面運動工作臺，其特征在于，所述第三平臺包括：用于控制第一平臺X方向運動的第一X方向運動系統和用于控制第二平臺X方向運動的第二X方向運動系統。

3.根據權利要求2所述的XY平面運動工作臺，其特征在于，所述第一X方向運動系統和第二X方向運動系統共用兩條導軌。

4.根據權利要求2所述的XY平面運動工作臺，其特征在于，所述第一X方向運動系統包括：第一電機、第一電機固定座、第一絲桿、第一絲桿固定座、第一聯軸器及兩條導軌，所述第一電機通過第一電機固定座固定在第三平臺的一端，所述第一絲桿通過第一絲桿固定座固定在第三平臺的另一端，所述第一電機與第一聯軸器轉動連接，所述第一聯軸器與第一絲桿轉動連接。

5.根據權利要求2所述的XY平面運動工作臺，其特征在于，所述第二X方向運動系統包括：第二電機、第二電機固定座、第二絲桿、第二絲桿固定座、第二聯軸器及兩條導軌，所述第二電機通過第二電機固定座固定在第三平臺的一端，所述第二絲桿通過第二絲桿固定座固定在第三平臺的另一端，所述第二電機與第二聯軸器轉動連接，所述第二聯軸器與第二絲桿轉動連接。

6.根據權利要求1所述的XY平面運動工作臺，其特征在于，所述第一平臺包括用于控制第一平臺Y方向運動的Y方向運動系統，所述第二平臺包括用于控制第二平臺Y方向運動的Y方向運動系統。