[實用新型]芯片測試機上的真空除塵結構

有效

• 申請號: 201120456186.3
• 申請日: 2011-11-16
• 公開（公告）號: CN202471756U
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 金英杰
• 申請（專利權）人: 金英杰
• 主分類號: G01R1/00
• 分類號: G01R1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種真空除塵結構，尤其是芯片測試機上的真空除塵結構。

背景技術

在芯片測試機上測試芯片時，由于諸多的測試腳接觸芯片的管腳進行測試，由于測試極為精細，所以測試精度受環境影響較大，現在一般的處理方式是在一個無塵的工作間中進行測試，以減少灰塵對測試的影響，但是無塵工作間環境中只是相對的無塵；芯片管腳，錫球有脫模材料、助焊劑殘渣，因此使用吸塵結構真空除塵，滿足現在的高精度高速度的芯片測試需求。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種能主動除塵的芯片測試機上的真空除塵結構。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

它安裝于芯片測試機測試位前端，包括與芯片測試機固定的法蘭板，所述法蘭板上安裝一鉸鏈座以及一頂板，所述鉸鏈座和頂板上安裝一支撐板，支撐板上設置有一汽缸，所述汽缸的驅動軸連接一前部吸附頭，前部吸附頭前端設有真空吸塵頭。

優選地，所述的真空吸塵頭包括一矩形邊框，所述的矩形邊框的前后邊框上分別設有水平方向的氣孔，前邊框的水平氣孔連通向下的垂直氣孔，在矩形邊框的上表面上設有一蓋板。

優選地，所述的汽缸通過一汽缸固定座安裝于支撐板上，所述的汽缸固定座為一底板及垂直于底板的汽缸連接部組成的倒T形，所述的氣缸連接部上設有一軸孔。

優選地，所述的支撐板上左右兩側分別設有一突出于支撐板平面的凸起部，所述的凸起部上分別安裝有滑軌，前部吸附頭固定于滑軌上。

優選地，所述的前部吸附頭固定有一與汽缸連接的連接件，所述的汽缸驅動軸通過一萬向節與連接件連接。

優選地，所述的支撐板上位于汽缸下方的位置設有一個或多個定位槽孔，所述汽缸底部設有與定位槽孔相配合的定位柱。

本實用新型的芯片測試機上的真空除塵結構通過汽缸驅動吸塵結構伸縮，在芯片檢測時，汽缸控制真空吸塵頭收縮，為芯片檢測騰出空間，在一組芯片檢測完畢時，汽缸控制真空吸塵頭伸展，真空吸塵頭到達芯片放置位，進行吸塵操作后，在汽缸的控制下在收縮，芯片檢測機進行下一步的芯片檢測，所以實現了對每個芯片放置位的主動除塵操作，而且不對檢測過程產生影響，提高了測試精度。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的爆炸結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例的裝配結構示意圖。

本實用新型目的、功能及優點將結合實施例，參照附圖做進一步說明。

具體實施方式

結合圖1和圖2所示，本實施例的芯片測試機上的真空除塵結構安裝于芯片測試機測試位前端，包括與芯片測試機固定的法蘭板1，所述法蘭板1上安裝一鉸鏈座2以及一頂板3，所述鉸鏈座2和頂板3上安裝一支撐板4，支撐板4上設置有一汽缸5，所述汽缸5的驅動軸連接一前部吸附頭6，前部吸附頭6前端設有真空吸塵頭7。

上述結構中，所述的真空吸塵頭7包括一矩形邊框71，所述的矩形邊框71的前后邊框上分別設有水平方向的氣孔72，前邊框的水平氣孔連通向下的垂直氣孔(角度關系未示出)，在矩形邊框的上表面上設有一蓋板73。

為了便于汽缸5在支撐板4上的安裝，所述的汽缸5通過一汽缸固定座8安裝于支撐板4上，所述的汽缸固定座8為一底板81及垂直于底板81的汽缸連接部82組成的倒T形，所述的氣缸連接部82上設有一軸孔83。

所述的支撐板4上左右兩側分別設有一突出于支撐板平面的凸起部41，所述的凸起部41上分別安裝有滑軌9，前部吸附頭6固定于滑軌9上。

由于各部件的配合關系較多，為了消除公差所帶來的傳動和裝配的影響，本實施例在所述的前部吸附頭6固定有一與汽缸連接的連接件10，所述的汽缸驅動軸通過一萬向節11與連接件10連接。

所述的支撐板4上位于汽缸下方的位置設有一個或多個定位槽孔42，所述汽缸5底部設有與定位槽孔42相配合的定位柱51。

在芯片檢測時，汽缸5控制真空吸塵頭7收縮，為芯片檢測騰出空間，在一組芯片檢測完畢時，汽缸控制真空吸塵頭伸展，真空吸塵7到達芯片放置位，進行吸塵操作后，在汽缸5的控制下在收縮，芯片檢測機進行下一步的芯片檢測。

以上所述僅為本實用新型的優選實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。