[實(shí)用新型]一種輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120454910.9
• 申請(qǐng)日: 2011-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN202329094U
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊桂玲;袁瑒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 楊桂玲
• 主分類號(hào): F27B9/14
• 分類號(hào): F27B9/14;F27B9/30;F27D9/00;H01L31/18
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369
• 代理人: 史霞

1.一種輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，在所述燒結(jié)爐中，傳輸硅片的載體是可以沿一個(gè)方向傳輸?shù)妮伒溃撦伒乐邪ǘ鄠€(gè)可旋轉(zhuǎn)的輥體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，輥道的與硅片接觸部位的材質(zhì)是非金屬的。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，所使用的輥道的與硅片接觸部位的材質(zhì)不同于用來支撐和傳動(dòng)輥道的部位的材質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，輥道的與硅片接觸部位的材質(zhì)是非金屬材質(zhì)，而用來支撐和傳動(dòng)輥道的部分的材質(zhì)是金屬材質(zhì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，組成輥道的輥體中的至少一部分為表面光滑的平輥體或表面凸凹不平的輥體。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，所述表面凸凹不平的輥體包括：表面帶有凹槽的螺紋狀輥體、表面帶有若干點(diǎn)狀或線狀凸起的輥體、表面帶有若干圓環(huán)狀物的不等徑輥體。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3或6中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，組成輥道的輥體中的至少一部分為實(shí)心輥體或空心輥體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-3或6中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，輥道的與硅片接觸部位的材質(zhì)是陶瓷、石英陶瓷或石英玻璃。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-3或6中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，?其特征在于，輥道的與硅片接觸部位的材質(zhì)是SiO₂或Si₃N₄或SiC。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-3或6中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，輥道的傳輸速度在15000mm/min以下任意可調(diào)，或者傳輸速度在4000mm/min～12000mm/min之間。

11.根據(jù)權(quán)利要求1-3或6中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，在燒結(jié)爐的燒結(jié)區(qū)和下料區(qū)之間設(shè)置有強(qiáng)制風(fēng)冷區(qū)，硅片完成燒結(jié)后直接進(jìn)入強(qiáng)制風(fēng)冷區(qū)快速冷卻。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，所述強(qiáng)制風(fēng)冷區(qū)包括：離開燒結(jié)區(qū)而繼續(xù)向前傳送的強(qiáng)制風(fēng)冷區(qū)輥道，和設(shè)置在強(qiáng)制風(fēng)冷區(qū)輥道上方和/或下方的吹風(fēng)裝置。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，設(shè)置在強(qiáng)制風(fēng)冷區(qū)輥道上方和下方的吹風(fēng)裝置彼此相對(duì)設(shè)置，且冷風(fēng)從上下二個(gè)方向同時(shí)吹向硅片。

14.根據(jù)權(quán)利要求12或13中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，吹風(fēng)裝置所吹出的冷風(fēng)是潔凈空氣、氮?dú)饣蛘邼崈艨諝馀c氮?dú)獾幕旌衔铮蛘呤墙?jīng)過冷卻處理的上述氣體。

15.根據(jù)權(quán)利要求12或13中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，所述吹風(fēng)裝置的吹風(fēng)壓力在6000Pa以下任意可調(diào)，與其匹配的風(fēng)量滿足硅片冷卻速率≥80℃/S。

16.根據(jù)權(quán)利要求1-3或6中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，所述燒結(jié)爐的爐體由上下可以分離的二部分組成，上半部分爐體可以在機(jī)械力的作用下沿垂直方向向上自由升起。

17.根據(jù)權(quán)利要求1-3或6中任一項(xiàng)所述的輥道式太陽電池硅片燒結(jié)爐，其特征在于，所述燒結(jié)爐使用的加熱方式是紅外輻射加熱、微波加熱或電熱?絲加熱中的單獨(dú)一種熱源或上述三種熱源的任意組合。?