[實用新型]一種用于真空電鍍腔室的門閥有效
| 申請號： | 201120452241.1 | 申請日： | 2011-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN202323007U | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發明（設計）人： | 孫永忠 | 申請（專利權）人： | 深圳市紅光陽真空工藝有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 真空 電鍍 門閥 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于真空電鍍腔室的門閥，包括門閥板，其特征在于：所述門閥板固定在一組由壓簧和壓板組成的門閥壓座上；所述門閥壓座上固定安裝在一主軸上，該主軸通過聯軸器連接于由氣缸傳動的氣缸撥叉。
2.根據權利要求1所述的用于真空電鍍腔室的門閥，其特征在于：所述聯軸器配備有相應的軸承座。
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