[實用新型]一種帶氣浮支承和電磁驅(qū)動的超精密工作臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120451882.5 | 申請日： | 2011-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN202317689U | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳學(xué)東;李巍;羅欣;李小平 | 申請（專利權(quán)）人： | 華中科技大學(xué) |
| 主分類號： | B23Q1/25 | 分類號： | B23Q1/25;B23Q1/26;B23Q1/38 |
| 代理公司： | 華中科技大學(xué)專利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 帶氣浮 支承 電磁 驅(qū)動 精密 工作臺 | ||
1.一種超精密工作臺，其特征在于，該超精密工作臺包括宏運(yùn)動平臺與微位移工作臺，其中宏運(yùn)動平臺的導(dǎo)軌形式采用氣浮導(dǎo)軌，微位移工作臺與宏運(yùn)動平臺連接，并隨宏運(yùn)動平臺一起沿X向、Y向移動；
所述宏運(yùn)動平臺包括工作臺基座(2)，第一、第二Y向直線電機(jī)定子(1a、1b)，第一、第二Y向直線電機(jī)動子(5a、5b)，X向直線電機(jī)定子(6)，連接機(jī)構(gòu)(7)以及X向直線電機(jī)動子(3)；
第一、第二Y向直線電機(jī)定子(1a、1b)分別位于工作臺基座(2)的兩側(cè)，第一、第二Y向直線電機(jī)定子(1a、1b)中都均勻布置有永磁塊(4)；Y向直線電機(jī)動子(5a)通過氣浮支承安裝在Y向直線電機(jī)定子(1a)上，并沿Y向運(yùn)動；Y向直線電機(jī)動子(5b)通過氣浮支承安裝在Y向直線電機(jī)定子(1b)上，其沿Y向運(yùn)動；X向直線電機(jī)定子(6)的兩端分別與第一、第二Y向直線電機(jī)動子(5a、5b)相連；X向直線電機(jī)動子(3)與微位移工作臺(8)通過連接機(jī)構(gòu)(7)連接在一起；
微位移工作臺(8)中的壓電作動器為壓電智能結(jié)構(gòu)，包括第一、第二、第三絕緣層(100、104、108)，第一、第二、第三、第四電極層(101、103、105、107)，壓電傳感器層(102)，壓電作動器層(106)；壓電智能結(jié)構(gòu)的最上面一層是第一絕緣層(100)，與第一絕緣層(100)接觸并位于其下面的是第一電極層(101)，與第一電極層接觸并位于其下面的是壓電傳感器層(102)，與壓電傳感器層(102)接觸并位于其下面的是第二電極層(103)，與第二電極層(103)接觸并位于其下面的是第二絕緣層(104)，與第二絕緣層(104)接觸并位于其下面的是第三電極層(105)，與第三電極層(105)接觸并位于其下面的是壓電作動器層(106)，與壓電作動器層(106)接觸并位于其下面的是第四電極層(107)，與第四電極層(107)接觸并位于其下面的是第三絕緣層(108)；壓電傳感器層(102)和壓電作動器層(106)的位置能夠互換。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于華中科技大學(xué)，未經(jīng)華中科技大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201120451882.5/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種蓋板鋼絲刷光機(jī)構(gòu)
- 下一篇：一種自動打火的電氣焊槍
