[實(shí)用新型]聚對(duì)二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)新聯(lián)結(jié)結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120447710.0 | 申請(qǐng)日： | 2011-11-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN202543315U | 公開（公告）日： | 2012-11-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐志淮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 昆山彰盛奈米科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C16/00 | 分類號(hào)： | C23C16/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215331*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 二甲苯 真空 臥式 沉積 系統(tǒng) 聯(lián)結(jié) 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種聚對(duì)二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)新聯(lián)結(jié)結(jié)構(gòu)，包括主機(jī)、底座、滾桶和真空腔室，在真空腔室內(nèi)設(shè)置有滾桶，其特征在于：在主機(jī)旁設(shè)置有底座，在底座的上方設(shè)置有真空腔室，在真空腔室的一側(cè)墻板直接固定在主機(jī)側(cè)壁上；所述真空腔室通過腔室法蘭與主機(jī)側(cè)壁上的墻板相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚對(duì)二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)新聯(lián)結(jié)結(jié)構(gòu)，其特征在于：在主機(jī)底部安裝有可升降的地腳螺栓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚對(duì)二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)新聯(lián)結(jié)結(jié)構(gòu)，其特征在于：在腔室底座底部安裝有四個(gè)萬向輪。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚對(duì)二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)新聯(lián)結(jié)結(jié)構(gòu)，其特征在于：在腔室法蘭內(nèi)設(shè)置有密封作用的密封圈。?
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的
