[實用新型]一種干式真空泵用電機

有效

• 申請號: 201120447440.3
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN202285356U
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 李昌龍;王光玉;劉在行
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: H02K7/14
• 分類號: H02K7/14;H02K5/20;H02K5/02;H02K11/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本實用新型屬于真空泵領域，具體地說是一種干式真空泵用電機。

背景技術

現如今半導體、新材料、太陽能和生物制藥等行業發展迅速，與之相關的真空獲得設備也要適應新的要求：一個是極限真空度要盡量高，另一個是獲得的真空環境應該是清潔無油的。在這些新要求的引導下，機械無油真空泵應運而生，干式真空泵越來越多地代替了油擴散泵作為系統的主泵，這樣大大降低了真空泵向真空室的返油。國外干式真空泵已經比較成熟，國產干式真空泵剛剛起步，而作為干式真空泵驅動力來源的電機，我國種類比較少，目前國產大多數真空泵電機與泵的主軸采用剛性聯軸器連接，這種結構對于干式真空泵來說有很大的弊端，主要表現是起動沖擊較大，噪音大，影響零件使用壽命，并且不利于節能降耗，對于大抽速轉速大于3000r/s以上的泵更加明顯，主動軸軸封長期處于高頻振動環境以及材料原因磨損較快，導致真空泵向真空室漏油和漏氣現象嚴重，需要頻繁更換軸封，影響泵的正常使用壽命和生產效率，不適合干泵的要求。

實用新型內容

為了克服現有技術中軸封泄露及起動沖擊問題，本實用新型的目的在于提供一種干式真空泵用電機。本實用新型把泵與軸的動密封轉變為電機定子與泵的靜密封，徹底解決了軸封泄露及起動沖擊問題。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：

一種干式真空泵用電機，包括電機外殼、定子及轉子，其中電機外殼內設有帶空腔的定子，所述轉子安裝在干式真空泵的主動軸上、并位于定子的空腔內；所述定子與泵體之間采用止口定位。

所述電機外殼上設有水循環冷卻管，該水循環冷卻管沿定子圓周方向與電機外殼鑄造為一體。

所述電機外殼為鑄鋁合金，電機外殼與定子之間灌注環氧樹脂。

所述轉子鍵連接于干式真空泵的主動軸上；在干式真空泵的主動軸的端部設有對轉子軸向定位的轉子擋板，該轉子擋板通過螺釘固定在主動軸上，在轉子擋板與轉子之間設有套在主動軸上的彈簧，該彈簧分別抵接于轉子擋板和轉子。

所述彈簧為波形彈簧。

所述轉子內部設有過熱保護結構。

所述過熱保護結構為熱敏電阻。

所述轉子與定子的內腔之間的間隙小于0.5mm。

所述定子與泵體之間采用0型密封圈密封。

所述干式真空泵用電機設有變頻控制器。

本實用新型具有以下優點：

本實用新型徹底解決軸封泄露及起動沖擊問題，把泵與軸的動密封轉變為電機定子與泵的靜密封，無須潤滑液，徹底解決了軸封泄露及介質污染問題，同時使剛性聯軸器引起的高頻振動與起動沖擊噪聲問題也得以解決，電機整體可隨意拆卸，方便維修，安裝容易、維修工期短，省時省力，降低成本。在抽氣過程中可保持真空環境不受污染，適用于半導體、石化、冶金、食品、醫藥、電子、包裝、印刷等行業。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

其中：1為泵體，2為0型密封圈，3為水循環冷卻管，4為主動軸，5為電機鍵，6為定子，7為轉子，8為彈簧，9為轉子壓板，10為螺釘，11為電機外殼。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步描述。

如圖1所示，本實用新型包括電機外殼11、定子6及轉子7，其中電機外殼11內設有帶空腔的定子6，所述轉子7通過電機鍵5與干式真空泵的主動軸4鍵連接，并且置于定子6的空腔內。在干式真空泵的主動軸4的端部設有對轉子7軸向定位的轉子擋板9，該轉子擋板9通過螺釘10固定在主動軸4上，在轉子擋板9與轉子7之間設有套在主動軸4上的彈簧8，該彈簧8分別抵接于轉子擋板9和轉子7；彈簧8為波形彈簧，螺釘10為M12內六角螺釘。定子6與電機外殼11之間采用模具灌注環氧樹脂形成轉子7旋轉的腔；定子6與泵體1之間采用止口定位、并采用氟橡膠0型密封圈2密封；電機外殼11采用鑄鋁合金。

電機外殼11及定子6由水循環冷卻管3降溫。該水循環冷卻管3可設置在電機外殼11上，將該水循環冷卻管3沿定子6圓周方向與電機外殼11鑄造為一體。

為達到電機過熱保護，所述電機定子6鐵心內部有熱敏電阻過熱保護結構。熱敏電阻的阻值變化可用來控制電機的轉速及開關。

為取得更好的技術效果，所述安裝在主動軸4上的轉子7與定子6的間隙小于0.5mm；所述轉子需經過動平衡檢測，不平衡量小于1gmm。

為能夠實現真空泵的變頻啟動，減小抽氣沖擊及增大抽速，本實用新型的電機還附加變頻控制器。所述變頻控制器可采用通用型的。

本實用新型電機電源接通時，變頻啟動，電機轉子7通過電機鍵5帶動主動軸4轉動，由于電機定子與泵體1之間采用止口定位，由氟橡膠0圈密2密封，定子6內部被抽成真空，此時轉子7在真空室內，泵體1與電機之間為靜密封，整個結構中不存在傳統的動密封及泄露問題，不存在剛性連接沖擊啟動問題。